[发明专利]蒸镀掩模在审
| 申请号： | 202080010358.6 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN113348263A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 观田康克 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 | ||
1.一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：
形成有多个开口的薄膜状的掩模主体；
设置在所述掩模主体的周围的、具有叠层结构的保持框，该叠层结构包括第1层和第2层；
设置在所述掩模主体与所述保持框之间的第1连接部件；和
将所述第1层与所述第2层连接的第2连接部件，
所述第1层具有在所述第1层的厚度方向上贯通所述第1层的贯通孔，
所述第2连接部件与所述贯通孔的内壁和所述第2层的表面接触，从所述贯通孔的内壁连续地覆盖至所述第2层的表面。
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第2层，在俯视时，在其与所述贯通孔重叠的区域具有在所述第2层的厚度方向上不贯通所述第2层的凹部，
所述第2连接部件与所述凹部接触。
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第1连接部件和所述第2连接部件由相同材料形成。
4.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第1连接部件和所述第2连接部件是镀层。
5.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
在俯视时，与所述保持框接触的区域中的所述第1连接部件的第1外缘，相比于与所述第1连接部件接触的区域中的所述掩模主体的第2外缘，位于外侧。
6.一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：
形成有多个开口的薄膜状的掩模主体；
设置在所述掩模主体的周围的、具有第1层和第2层的保持框；
将所述掩模主体与所述保持框连接的第1连接部件；和
将所述第1层与所述第2层连接的第2连接部件，
所述第1层具有在所述第1层的厚度方向上贯通所述第1层的贯通孔，
所述第2连接部件将所述贯通孔的内壁与因所述贯通孔而露出的所述第2层的表面连接。
7.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第2层，在俯视时，在其与所述贯通孔重叠的区域具有在所述第2层的厚度方向上不贯通所述第2层的凹部，
所述第2连接部件与所述凹部接触。
8.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第1连接部件和所述第2连接部件由相同材料形成。
9.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述第1连接部件和所述第2连接部件是镀层。
10.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：
在俯视时，与所述保持框接触的区域中的所述第1连接部件的第1外缘，相比于与所述第1连接部件接触的区域中的所述掩模主体的第2外缘，位于外侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日本显示器，未经株式会社日本显示器许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202080010358.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
