[发明专利]成像反射计

权利要求书

1.一种成像反射计，包括：

源模块，所述源模块经配置以产生多个输入光束，所述多个输入光束中的每个输入光束由不同的光源产生，所述多个输入光束中的至少一些输入光束具有与所述多个输入光束中的其他输入光束不同的标称波长，所述源模块经配置以以第一切换速率顺序地产生所述多个输入光束中的不同输入光束；

照明瞳孔，所述照明瞳孔具有第一数值孔径(NA)，所述照明瞳孔沿着第一光径布置，使得所述多个输入光束中的每个输入光束通过所述照明瞳孔；

光束分离器，所述光束分离器沿着所述第一光径布置在所述照明瞳孔的下游，所述光束分离器经配置以沿着第二光径将所述多个输入光束中的每个输入光束的第一部分引导向参考传感器，并且允许所述多个输入光束中的每个输入光束的第二部分通过所述光束分离器并沿着所述第一光径继续行进；

大场透镜，所述大场透镜沿着所述第一光径布置，所述大场透镜经配置以接收来自所述光束分离器的所述多个输入光束中的每个输入光束的所述第二部分，并且提供所述多个输入光束中的每个输入光束的所述第二部分作为正被成像的样品之上的实质远心照明，在约350nm至约1100nm的波长范围内，所述实质远心照明的远心误差小于0.1度，所述大场透镜也经配置以接收从所述样品所反射的所述实质远心照明的被反射的部分并沿着所述第一光径将所述被反射的部分引导向所述光束分离器，其中所述被反射的部分被所述光束分离器引导沿着第三光径；

成像瞳孔，所述成像瞳孔具有第二NA，所述第二NA比所述照明瞳孔的所述第一NA要低，所述成像瞳孔沿着所述第三光径布置在所述光束分离器的下游，使得所述被反射的部分通过所述成像瞳孔；以及

成像传感器模块，所述成像传感器模块沿着所述第三光径布置在所述成像瞳孔的下游，所述成像传感器模块经配置以接收所述被反射的部分并生成对应的图像信息，所述成像传感器模块经配置以基于来自所述参考传感器的信息来标准化所述图像信息中的至少部分，所述成像传感器模块经配置以以与所述源模块的所述第一切换速率相同或更快的帧速率来生成所述图像信息。

2.如权利要求1所述的成像反射计，其中：

所述大场透镜的测量场具有大于300mm的直径；或

所述实质远心照明的测量场大于所述正被成像的样品。

3.如权利要求1所述的成像反射计，其中所述大场透镜是远心透镜。

4.如权利要求1所述的成像反射计，其中：

所述大场透镜的场尺寸小于所述正被成像的样品，所述成像反射计进一步包括样品台，所述样品台经配置以使所述样品相对于所述测量场移动；或

所述大场透镜的场尺寸小于所述正被成像的样品，并且所述成像反射计经配置以移动光学模块以在所述样品上提供不同的测量场。

5.如权利要求1所述的成像反射计，进一步包括：点反射计，所述点反射计设置在所述大场透镜和样品台之间的所述大场透镜的下游，所述点反射计经配置以执行点反射测量，其中所述点反射计的测量场小于所述大场透镜的测量场，并且所述点反射计的波长范围大于所述大场透镜的波长范围。

6.如权利要求1所述的成像反射计，其中：

所述不同的光源包括不同的发光二极管(LED)或不同的激光二极管(LD)；或

所述源模块包括宽频光源和一组带通滤波器，用于提供选定的标称波长下的光束。

7.如权利要求1所述的成像反射计，其中所述多个输入光束中的每个输入光束由不同的光源产生。

8.如权利要求1所述的成像反射计，其中：

所述成像传感器模块包括多个相机，每个相机经配置以对所述样品的区域进行成像；或

所述成像传感器模块包括单个相机，所述单个相机经配置以对所述样品的整个表面进行成像。