[发明专利]超声波雾化装置

说明书

本发明的目的在于提供一种实现了耐久性的提高的超声波雾化装置。而且，在本发明的超声波雾化装置(101)中，分隔杯(12)以及四个超声波振子(2)以满足“四个反射波(W2)不被四个超声波振子(2)中的任一个接收”这一反射波避免条件的方式设置。具体而言，分隔杯(12)的底面(BP1)被设定为设定曲率(K1)比以往的设定曲率(K6)大。而且，四个超声波振子(2)各自的距水槽(10)的底面的中心点(C10)的距离(D1)被设定为比以往的距离(D6)长。

技术领域

本发明涉及使用超声波振子将原料溶液雾化(mist)成微细的雾，并将该雾向外部输送的超声波雾化装置。

背景技术

在电子器件的制作的现场，有时使用超声波雾化装置。在该电子器件制造的领域中，超声波雾化装置利用从超声波振子振荡出的超声波将溶液雾化，通过输送气体将雾化后的溶液向外部送出。通过将该输送到外部的原料溶液雾喷雾到基板上，在基板上形成电子器件用的薄膜。

在用于成膜的原料溶液中使用各种溶剂，为了防止超声波振子腐蚀，使用原料溶液与超声波振子不接触的双腔(double chamber)方式。在双腔方式中，为了将超声波振子与原料溶液隔开，在底面设置超声波振子，与水槽不同，使用收容原料溶液的分隔杯。分隔杯需要使超声波透过，但其一部分反射。另外，在水槽中收容有超声波传递溶剂。

作为上述双腔方式的超声波雾化装置，例如有专利文献1公开的雾化装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/019468号

发明内容

发明要解决的课题

当超声波从设于水槽的底面的超声波振子通过作为非活性液体的超声波传递溶剂而入射(碰撞)到分隔杯的底面时，产生透射波与反射波。透射波透过分隔杯的底面而入射到原料溶液，反射波朝向水槽的底面。

为了不产生反射波而使全部成为透射波，作为超声波传递溶剂以及分隔件(的底面)的构成材料，需要使用具有相同的声学阻抗的构成材料。但是，使两者的构成材料的声学阻抗完全一致在实用上是极其困难的，必然会产生反射波。

由于反射波朝向水槽的底面侧而照射，因此伴随着反射波的接收，水槽(的底面)熔融、或者设于水槽的底面的超声波振子发生故障，因此成为缩短超声波雾化装置的寿命的原因。因此，以往的超声波雾化装置存在耐久性差的问题。

在本发明中，为了解决上述那样的问题点，目的在于提供一种实现了耐久性的提高的超声波雾化装置。

用来解决课题的手段

本发明中的超声波雾化装置其特征在于，具备：容器，在下方具有分隔杯，该分隔杯收容原料溶液；内部空洞构造体，在所述容器内设于所述分隔杯的上方，且内部为空洞；以及水槽，在内部收容超声波传递介质，所述水槽以及所述分隔杯以所述分隔杯的底面浸入所述超声波传递介质的方式被定位，该超声波雾化装置还具备至少一个超声波振子，该至少一个超声波振子设于所述水槽的底面，从所述至少一个超声波振子发送的至少一个入射波的一部分由所述分隔杯的底面反射，由此得到至少一个底面反射波，所述分隔杯以及所述至少一个超声波振子以满足反射波避免条件的方式设置，所述反射波避免条件是：所述至少一个底面反射波不被所述至少一个超声波振子中的任一个接收，所述分隔杯的底面形成为中央向下方突出的球面状，所述至少一个超声波振子包含多个超声波振子，所述至少一个入射波包含多个入射波，所述至少一个底面反射波包含多个底面反射波，所述反射波避免条件是：所述多个底面反射波不被发送到所述多个超声波振子中的任一个，所述多个超声波振子以距所述水槽的底面的基准点成为相同距离的方式相互离散地配置，所述水槽的底面具有多个反射波接收区域，该多个反射波接收区域接收所述多个底面反射波，所述超声波雾化装置还具备多个超声波吸收部件，该多个超声波吸收部件设于所述多个反射波接收区域，所述多个反射波接收区域是与所述多个超声波振子的形成区域不同的区域。