[发明专利]激光系统

说明书

本发明涉及激光系统(10)，激光系统具有：两个激光光源(12a、12b)；馈入光学装置(20)，馈入光学装置具有两个光学输入通道(18a、18b)以及两个输出通道(24a、24b)；以及射束成形光学装置(28)，用于成形使用光分布(L)。光学输入通道分别被构造用于馈入分别包括至少两个激光射束(14)的各一个输入射束组(16a、16b)，以及光学输出通道被构造用于引导各一个输出射束组(26a、26b)。馈入光学装置(20)被设置用于，使得馈入的激光射束(14)以如下方式重新排列，即，每个输出射束组(26a、26b)至少包括来自所述第一光学输入通道(18a)的输入射束组(16a)的至少一个激光射束(14)和来自第二光学输入通道(18b)的输入射束组(16b)的至少一个激光射束(14)。

技术领域

本发明涉及一种激光系统或者说激光装置，用于产生使用光分布(L)，该使用光分布由多个激光射束来馈给。

背景技术

一有利、但非最终的应用领域是产生尤其是输出射束的具有线状射束轮廓的使用光分布，该输出射束沿着扩散方向被扩散且该输出射束在一工作平面中具有线状的、沿着线方向扩展的射束横截面，该射束横截面具有不消失强度。

这类线状射束轮廓例如在处理半导体或玻璃的表面时被使用，例如在制造TFT显示器时、在掺杂半导体时、在制造太阳能电池时使用，或用于制造针对建筑目的的、经美学设计的玻璃表面。在此情况下，线状射束轮廓垂直于线的扩展方向扫过待处理的表面。通过该辐射例如可以引发表面的转换过程(重结晶、熔融、扩散过程)并获得希望的处理结果。

激光系统包括用于馈给希望的使用光分布的多个激光光源，以便产生高的能量密度和/或空间上被强扩展的线形强度分布。例如，DE 10 2008 027 229B4示出了用于多个激光射束的射束成形和组合的装置，这些激光射束由多个激光光源给出且在多个组中分别其路径的一段在分开的光学通道中延展，其中，激光射束然后最终相聚并被转换成具有希望的线状射束轮廓的光分布。为了转换成使用光分布，激光射束在此穿过多个光学元件，这些光学元件被铺设用于，由各种激光光源的激光射束来照亮。为了实现光学元件的均匀照亮，因此应当持续使所有激光光源处于运行。如果一激光光源失效，或使用光分布的强度会由于一激光光源的削弱或去激活被减少，那么这些光学元件不再被均匀照亮。这点可能负面影响使用光分布的品质和均匀性。

发明内容

本发明的任务是，在功率波动或单个激光光源被去激活时改善激光系统的功能性和使用光分布的品质。

该任务通过根据权利要求1的激光系统来解决。激光系统总体上涉及一种装置，该装置包括多个设备和/或结构元件。尤其地，激光系统包括至少两个激光光源用于给出激光射束以及针对激光射束的一馈入光学装置。馈入光学装置具有针对激光射束的至少一个第一光学输入通道和至少一个第二光学输入通道。此外，馈入光学装置包括至少一个第一光学输出通道以及至少一个第二光学输出通道，激光射束通过它们从馈入光学装置中出来。馈入光学装置的激光射束然后在射束光路中跟随地延展穿过射束成形光学装置，该射束成形光学装置被构造用于从光学输出通道的激光射束中成形出具有线形横截面的希望的使用光分布。

第一和第二光学输入通道分别被构造为，使得可以分别馈入一输入射束组，其中，输入射束组可以分别包括至少两个激光射束。第一和第二光学输出通道分别被构造用于引导各一个输出射束组，其中，每个输出射束组又可以包括至少两个激光射束。

馈入光学装置在此被设置为，使得馈入的激光射束在从输入通道到输出通道中的过渡中被重新排列。尤其地，馈入光学装置以如下方式起作用，即，每个输出射束组至少分别包括来自第一光学输入通道的输入射束组的至少一个激光射束以及来自第二光学输入通道的输入射束组的激光射束。