[发明专利]包括至少一个THz设备的装置和操作这种装置的方法

权利要求书

1.一种装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，包括配置为发射和/或接收THz辐射(TR；TR1、TR2)的至少一个太赫兹(THz)设备(110；110a)，所述装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)被配置为在所述THz辐射(TR)的波束路径(BP)的至少一部分(P’)中提供保护气体(PG)的流(F；F41，F42)。

2.根据权利要求1所述的装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，其中，所述保护气体(PG)包括或者优选地是以下中的至少一种：a)干燥空气，b)干燥气体，c)干燥气体混合物，d)在所述THz辐射(TR)的频率范围内不包括吸收线的至少一种气体，其中，优选地所述保护气体(PG)所包括的露点温度为-20摄氏度或更低、优选-30摄氏度或更低、进一步优选-40摄氏度或更低，其中，优选地对于所述THz辐射(TR)的任何频率，优选地所述保护气体(PG)实现所述THz辐射(TR)沿所述波束路径(BP)衰减0.1dB或更小。

3.根据前述权利要求中的至少一项所述的装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，还包括：a)配置为提供所述保护气体的流(F；F41，F42)的至少一个保护气体供应设备(120；120a)，和/或b)用于影响、特别是控制所述保护气体(PG)的流(F)的压力的至少一个压力控制器(128)。

4.根据前述权利要求中至少一项所述的装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，其中，所述装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)还包括至少一个喷嘴(122；1221，1222)，其中，优选地所述至少一个喷嘴(122)被配置和/或布置为将所述保护气体(PG)的流(F)或所述流(F)的至少一部分引导至所述THz辐射(TR)的所述波束路径(BP)的至少一部分(P’)，其中，优选地所述至少一个喷嘴(122)是自由射流喷嘴(122；1221)。

5.根据权利要求4所述的装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，其中，所述至少一个喷嘴(122)被布置为：a)相对于所述THz辐射(TR)的所述波束路径(BP)或所述至少一个THz设备(110；110a)的参考轴(RA)平行，和/或b)相对于所述THz辐射(TR)的所述波束路径(BP)或所述至少一个THz设备(110；110a)的参考轴(RA)共轴，或者c)相对于所述THz辐射(TR)的所述波束路径(BP)或所述至少一个THz设备(110；110a)的参考轴(RA)成锐角。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的装置(100；100a；100b；100c；100d；100e；100f；100g；100h；100i；100j；100k；100l；100m)，还包括用于从外部供应源(200)接收保护气体(PG1)的进气口(124)。