[发明专利]工件保持夹具和表面处理装置

说明书

一种工件保持夹具(30)，其能够保持进行表面处理的工件(20)，并且能够与以流通恒定电流的方式进行电压控制的整流器电连接，其中，能够与整流器和工件(20)电连接的导电构件包括：共通导电构件(360(361、362、363))；和从共通导电构件分支并与工件(20)连接的第1分支导电构件和第2分支导电构件，共通导电构件(360)包含由下述材料形成的构件(362、363)，该材料具有第1分支导电构件和第2分支导电构件间的最大电阻差的10³倍以上且大于铜和铝的电阻值。

技术领域

本发明涉及在电镀等表面处理中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。

背景技术

已知一种连续镀覆装置，其利用工件保持夹具将工件垂下并浸渍到处理槽内的处理液中，一边连续传送工件一边进行电镀(专利文献1、2)。工件保持夹具对工件进行保持，并且将工件设定为阴极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5898540号公报

专利文献2：WO2018/062259号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在工件保持夹具经由分支的多个导电构件对工件的多个部位通电时，若经由该分支导电构件流至工件的电流不同，则进行表面处理的工件的面内均匀性变差。

本发明的若干方式的目的在于降低流过工件的电流的偏差，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及一种工件保持夹具，该工件保持夹具能够保持进行表面处理的工件，并且能够与以流通恒定电流的方式进行电压控制的整流器电连接，其中，能够与上述整流器和上述工件电连接的导电构件包括：共通导电构件；和从上述共通导电构件分支并与上述工件连接的第1分支导电构件和第2分支导电构件，上述共通导电构件包含下述材料，该材料具有上述第1分支导电构件和第2分支导电构件间的最大电阻差的10³倍以上且大于铜和铝的电阻值。

根据本发明的一个方式，经由供电部、例如供电轨与工件保持夹具电连接的整流器为了流过所设定的恒定电流I，根据电阻R调整电压E，以达到E＝R×I。本发明的一个方式中，能够与整流器和工件电连接的导电构件包括：共通导电构件；和从该共通导电构件分支并与工件连接的第1分支导电构件和第2分支导电构件。闭环体系的电阻R包含比通常认为是低电阻的铜或铝电阻值更大的共通导电构件的电阻值r。相对于在第1分支导电构件、第2分支导电构件间产生的最大电阻差ΔRΩ，若r≥10³×ΔRΩ，则包含共通导电构件的电阻值r的体系的电阻R也增大。因此，整流器调整到比较大的电压V，供给恒定电流I。这样，流过第1分支导电构件、第2分支导电构件的电流(或电子)在共通导电构件汇合，而且若能以大幅超过与第1分支导电构件、第2分支导电构件间的电阻的偏差ΔRΩ相当的偏差电压ΔV的电压E流通电流I，则电阻的偏差ΔRΩ可以忽略。由此，由于在第1分支导电构件、第2分支导电构件产生的最大电阻差ΔRΩ，流过工件的电流依赖于工件中的位置而不均的情况可降低，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。需要说明的是，本发明的一个方式的夹具可以在处理槽内连续传送或间歇传送，或者也可以不被传送而以自由出入处理槽内的方式被支撑。

(2)本发明的一个方式(1)中，进一步具有：

上框，其配置于上述工件的上端部的上方；和

多个上侧夹，其保持于上述上框，夹持工件的上端部，

上述导通构件具有：

第1接触部、第2接触部，它们与连接到上述整流器的供电轨接触；

一对第1电缆，其各一端电连接到上述第1接触部、第2接触部；