[发明专利]工件保持夹具和表面处理装置

说明书

一种工件保持夹具(30)，其能够保持进行表面处理的工件(20)，并且能够与整流器电连接，该工件保持夹具(30)具有：导电性的至少一个支撑部(521、522)，其能够与整流器导通；导电性的至少一个夹(510、520)，其被支撑部所支撑，并夹持工件的缘部的一部分；导电性的至少一个虚设板，其被支撑部所支撑，并与工件的缘部中未被夹保持的区域接近地进行配置；和至少一个绝缘板(630、630A、630B)，其可移动地支撑于虚设板的至少一个面，以覆盖该一个面，调整虚设板的露出导电面积。

技术领域

本发明涉及在电镀等表面处理中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。

背景技术

已知一种连续镀覆装置，其利用工件保持夹具将工件垂下并浸渍到处理槽内的处理液中，一边连续传送工件一边进行电镀(专利文献1、2)。工件保持夹具对工件进行保持，并且将工件设定为阴极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5898540号公报

专利文献2：WO2018/062259号公报

发明内容

发明所要解决的课题

工件保持夹具利用夹对工件的缘部进行夹持以保持工件，同时夹成为用于将工件设定为阴极的导通路径。对于进行表面处理的工件的缘部，例如在镀覆的情况下，在被夹持的区域的附近与未被夹持的区域中镀膜厚不同，会抑制进行表面处理的工件的面内均匀性。

本发明的若干方式的目的在于利用设置于工件保持夹具的虚设板调整流过工件的缘部的电流，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。

本发明的其他若干方式的目的在于能够利用虚设板调整工件的缘部中未被夹持的区域的表面处理，同时能够利用自动设备对工件保持夹具进行工件的装卸。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及一种工件保持夹具，该工件保持夹具能够保持进行表面处理的工件，并且能够与整流器电连接，其中，该工件保持夹具具有：

至少一个支撑部，其能够与上述整流器导通；

导电性的至少一个夹，其被上述至少一个支撑部所支撑，并夹持上述工件的缘部的一部分；

导电性的至少一个虚设板，其被上述至少一个支撑部所支撑，并与上述工件的上述缘部中未被上述至少一个夹保持的区域接近地进行配置；和

至少一个绝缘板，其可移动地支撑于上述至少一个虚设板的至少一个面，以覆盖上述至少一个面，调整上述至少一个虚设板的露出导电面积。

根据本发明的一个方式，可以通过绝缘板的移动来调整虚设板的露出导电面积。通过改变虚设板的露出导电面积，可调整对于虚设板的表面处理所消耗的电流。由此，可调整经由夹流过工件的缘部的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。需要说明的是，本发明的一个方式的夹具可以在处理槽内连续传送或间歇传送，或者也可以不被传送而以自由出入处理槽内的方式被支撑。

(2)本发明的一个方式(1)中，能够为：

具有包围上述工件的框体，上述框体包括上框、下框和一对纵框，

上述至少一个支撑部包括上述上框和上述下框，

上述至少一个夹包括：支撑于上述上框并夹持上述工件的上缘部的一部分的上侧夹；和支撑于上述下框并夹持上述工件的下缘部的一部分的下侧夹，

上述至少一个虚设板包括：与上述工件的上述上缘部中未被上述上侧夹保持的区域接近地进行配置的上侧虚设板；和与上述工件的上述下缘部中未被上述下侧夹保持的区域接近地进行配置的下侧虚设板，