[发明专利]光接收装置和测距模块在审

专利信息
申请号: 202080012330.6 申请日: 2020-03-16
公开(公告)号: CN113383421A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 渡边竜太;山崎武;韩相万 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/369;H04N5/374
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 房岭梅;姚鹏
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 接收 装置 测距 模块
【权利要求书】:

1.一种光接收装置,包括:

像素阵列单元,其中,像素以矩阵状二维布置,所述像素具有第一分光器和第二分光器,所述第一分光器检测由光电转换单元进行光电转换的电荷,所述第二分光器检测由所述光电转换单元进行光电转换的电荷,其中,

所述第一分光器和所述第二分光器具有施加电压的电压施加单元,

所述像素阵列单元具有通过从基板的光入射面侧挖到预定深度而形成的槽部,并且

所述槽部被布置成在平面图中与所述电压施加单元的至少一部分重叠。

2.根据权利要求1所述的光接收装置,其中,

所述槽部的平面形状是格子状。

3.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

格子间距等于像素间距。

4.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

格子间距等于像素间距的一半。

5.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

所述槽部不形成在格子的交叉部分处。

6.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

在所述槽部中,格子的交叉部分是所述像素的边界部分的位置。

7.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

在所述槽部中,格子的交叉部分是所述像素的中心部分的位置。

8.根据权利要求2所述的光接收装置,其中,

所述槽部在相邻像素之间双重地形成。

9.根据权利要求1所述的光接收装置,其中,

在所述槽部中嵌入绝缘层或金属层。

10.根据权利要求1所述的光接收装置,其中,

所述像素阵列单元还在所述基板的所述光入射面侧的像素之间具有遮光膜。

11.根据权利要求1所述的光接收装置,其中,

所述电压施加单元由相邻的两个像素共用。

12.根据权利要求1所述的光接收装置,其中,

所述像素在所述基板的所述光入射面上具有凹凸部。

13.一种测距模块,包括:

光接收装置,其具有像素阵列单元,在所述像素阵列单元中,像素以矩阵状二维布置,所述像素具有第一分光器和第二分光器,所述第一分光器检测由光电转换单元进行光电转换的电荷,所述第二分光器检测由所述光电转换单元进行光电转换的电荷,

所述第一分光器和所述第二分光器具有施加电压的电压施加单元,

所述像素阵列单元具有通过从基板的光入射面侧挖到预定深度而形成的槽部,并且

所述槽部被布置成在平面图中与所述电压施加单元的至少一部分重叠。

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