[发明专利]基板载具头和加工系统

权利要求书

1.一种基板载具头，包括：

载具主体；

基板保持器，其附接到所述载具主体，所述基板保持器包括经配置成接收基板的孔；

第一弹性膜，其包括具有宽度W1的第一无孔基板支撑部分；

第二弹性膜，其包括具有宽度W2的第二无孔基板支撑部分，所述第二无孔基板支撑部分定位在所述第一基板支撑部分与所述载具主体之间并且经配置成抵靠所述第一无孔基板支撑部分的至少内部区段选择性地提供力；以及

内支撑板，其相对于所述载具主体固定并包括支撑表面，所述支撑表面经配置成支撑保持在所述第二无孔基板支撑部分上的基板。

2.根据权利要求1所述的基板载具头，其中W1大于W2。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的基板载具头，还包括形成在所述第一基板支撑部分与所述载具主体之间的单个第一膜腔。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的基板载具头，还包括形成在所述第二基板支撑部分与所述内支撑板之间的单个第二膜腔。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的基板载具头，还包括经配置成支撑所述第一基板支撑部分的外部区段的外支撑板。

6.根据权利要求5所述的基板载具头，其中所述外支撑板包括经配置成围绕所述第二基板支撑部分的中心开口。

7.根据权利要求6所述的基板载具头，其中所述外支撑板、第一膜和第二膜经配置成使得所述第二基板支撑部分能够穿过所述中心开口。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的基板载具头，其中所述外支撑板和所述内支撑板中的至少一个包括多个孔，所述多个孔经配置成延伸穿过所述外支撑板和所述内支撑板中的所述至少一个的厚度，并且在所述第一腔与所述第一基板支撑部分以及所述第二腔与所述第二基板支撑部分中的至少一对之间提供流体连通。

9.根据权利要求8所述的基板载具头，其中所述多个孔包括延伸穿过所述外支撑板的所述厚度的第一多个孔以及延伸穿过所述内支撑板的所述厚度的第二多个孔。

10.根据权利要求9所述的基板载具头，其中所述第二多个孔包括延伸穿过所述内支撑板的所述中心的中心孔，其中所述中心孔与其他多个孔中的至少一个具有相同的横截面积。

11.根据权利要求8-10中任一项所述的基板载具头，其中所述多个孔中的每个都是圆形的，并且相对于彼此具有相同的直径。

12.根据权利要求8-11中任一项所述的基板载具头，其中所述多个孔中的每个具有小于约0.4in²的面积。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的基板载具头，其中所述第二基板支撑部分直接接触所述第一基板支撑部分的至少所述内部区段。

14.根据权利要求5-13中任一项所述的基板载具头，还包括囊状物，所述囊状物经配置成相对于所述载具主体、所述第二弹性膜和所述内支撑板中的至少一个移动所述外支撑板。

15.根据权利要求1-14中任一项所述的基板载具头，还包括直径小于或等于约0.25英寸的基板传感器。

16.根据权利要求1-15中任一项所述的基板载具头，还包括具有可调弹簧力的基板传感器。

17.根据权利要求5-16中任一项所述的基板载具头，其中所述内板和所述外板基本上彼此共面，具有至多约1mm的共面性。