[发明专利]激光加工机、加工方法和激光光源

权利要求书

1.一种激光加工机，包括:

激光光源，包括

发光体，包括基板和底部发射型垂直共振腔面发射激光元件，所述底部发射型垂直共振腔面发射激光元件设置在所述基板的一个表面上，并从所述基板的另一表面侧发射激发光束，以及

共振腔，被部署为在所述基板的另一表面侧与所述发光体接触，并通过所述激发光束的入射来振荡脉冲激光束；以及

光学系统，使所述脉冲激光束缩小并向工件施加所述脉冲激光束。

2.根据权利要求1所述的激光加工机，其中，

所述发光体包括多个垂直共振腔面发射激光元件。

3.根据权利要求2所述的激光加工机，其中，

所述共振腔包括

增益介质层，被所述激发光束激发并振荡激光束，

过饱和吸收体，以及

一对镜，夹持所述增益介质层和所述过饱和吸收体。

4.根据权利要求3所述的激光加工机，还包括:

波长转换层，设置在所述激光光源和所述光学系统之间。

5.根据权利要求3或4所述的激光加工机，还包括:

透明构件，设置在所述光学系统和所述工件之间并且针对每个部分具有不同的厚度。

6.根据权利要求3所述的激光加工机，其中，

所述发光体包括聚光构件，所述聚光构件将所述激发光束会聚并发射到所述共振腔。

7.根据权利要求3所述的激光加工机，其中，

所述发光体包括

准直构件，使所述激发光束准直并将其发射，以及

聚光构件，将从所述准直构件发射的光会聚并发射到所述共振腔。

8.根据权利要求3所述的激光加工机，还包括:

控制器，控制来自所述激光光源的所述脉冲激光束的振荡。

9.根据权利要求8所述的激光加工机，其中，

所述控制器独立地控制基于分别从所述多个垂直共振腔面发射激光元件发射的激发光束的所述脉冲激光束的发射。

10.根据权利要求3所述的激光加工机，其中，

所述增益介质层为Yb:YAG。

11.根据权利要求10所述的激光加工机，其中，

所述过饱和吸收体为Cr:YAG。

12.一种激光加工方法，包括:

通过使用激光加工机，所述激光加工机包括

激光光源，包括

发光体，包括基板和多个底部发射型垂直共振腔面发射激光元件，所述底部发射型垂直共振腔面发射激光元件设置在所述基板的一个表面上，并从所述基板的另一表面侧发射激发光束，以及

共振腔，被部署为在所述基板的另一表面上与所述发光体接触，并通过所述激发光束的入射来振荡多个脉冲激光束，以及

光学系统，使所述脉冲激光束缩小并向工件施加所述脉冲激光束，

通过在分别不同的振荡定时利用所述脉冲激光束照射所述工件来加工所述工件，所述脉冲激光束基于分别从彼此相邻的所述垂直共振腔面发射激光元件发射的所述激发光束而被振荡。

13.根据权利要求12所述的激光加工方法，其中，

基于分别从彼此相邻的所述垂直共振腔面发射激光元件发射的所述激发光束的所述脉冲激光束的振荡定时被偏移所述脉冲激光束的脉冲周期的半周期。