[发明专利]用于定位物体的定位系统

权利要求书

1.一种用于定位物体的定位系统，其中所述定位系统包括堆叠载物台系统，其中所述堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的，其中所述堆叠载物台系统包括：

驱动系统，用于驱动所述堆叠载物台系统；

第一载物台，其布置成沿着与所述基准表面的平面平行的驱动平面被驱动；

主载物台，用于支撑所述物体，其中所述主载物台布置在被驱动的第一载物台上，以用于沿着所述驱动平面移动所述主载物台；以及

其中所述主载物台相对于所述第一载物台沿垂直于所述驱动平面的平面外方向是可移动的，并且其中所述主载物台还包括支撑轴承，所述支撑轴承布置成沿所述平面外方向将所述主载物台可移动地支撑在所述基准表面上，使得沿所述平面外方向的位置精度不取决于所述堆叠系统中的下层载物台的平面外位置精度。

2.根据权利要求1所述的定位系统，其特征在于，所述第一载物台包括用于容纳所述主载物台的所述支撑轴承的中心开口。

3.根据权利要求1或2所述的定位系统，其特征在于，所述主载物台包括旋转驱动系统，并且其中，所述旋转驱动系统布置成用于围绕平行于与所述驱动平面垂直的平面外方向的轴线相对于所述第一载物台旋转所述主载物台。

4.根据前述权利要求中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述主载物台沿所述平面外方向与所述下层载物台分离，使得所述主载物台沿所述平面外方向的定位精度独立于所述下层载物台的平面外定位精度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述主载物台直接支撑在所述基准表面上，使得所述主载物台沿所述平面外方向的相对位置由所述支撑轴承确定。

6.根据前述权利要求中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述堆叠载物台系统还包括第二载物台，所述第二载物台布置成沿着与所述基准表面的平面平行的平面被驱动，其中，所述第一载物台布置在所述第二载物台上，其中，所述第一载物台布置成用于沿第一方向移动，所述第二载物台布置成用于沿垂直于所述第一方向的第二方向移动。

7.根据前述权利要求中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述支撑轴承包括空气轴承，以用于在所述基准表面和所述支撑轴承的下端之间形成加压气体的薄膜。

8.根据前述权利要求中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述定位系统包括预负荷子系统，所述预负荷子系统布置成用于朝向所述基准表面偏压所述支撑轴承。

9.根据权利要求8所述的定位系统，其特征在于，所述预负荷子系统布置在所述第一载物台上，以用于将所述支撑轴承从所述第一载物台朝所述基准表面偏压。

10.根据权利要求8或9所述的定位系统，其特征在于，所述定位系统包括布置在所述支撑轴承和所述第一载物台之间的偏压元件。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的定位系统，其特征在于，在所述预负荷子系统和所述第一载物台之间设有旋转轴承，由此所述旋转轴承布置成用于允许所述预负荷系统围绕平行于所述平面外方向的轴线相对于所述第一载物台的相对旋转。

12.根据权利要求8至11中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述预负荷子系统包括用于在所述第一载物台和所述支撑轴承之间供应气体的气体系统。

13.根据权利要求12所述的定位系统，其特征在于，所述第一载物台和所述支撑轴承中的一者包括活塞缸，以用于容纳所述第一载物台和所述支撑轴承活塞中的另一者的活塞，其中，所述气体系统布置成在所述活塞缸中供应气体。

14.根据前述权利要求8至13中任一项所述的定位系统，其特征在于，所述预负荷子系统包括真空系统，以用于在所述支撑轴承和所述基准表面之间产生真空。