[发明专利]离子枪

权利要求书

1.一种离子枪，包括：

阳极；

磁极，具有与所述阳极相对的内表面、设置在作为所述阳极的上方的与所述阳极对应的位置上的狭缝和从所述内表面的一端向所述狭缝延伸且形成所述狭缝的一部分的内倾斜面；和

罩，至少包覆所述内表面及所述内倾斜面且由具有导电性和非磁性的材料构造，所述罩相对于所述磁极能够拆卸，

所述罩包括：第一包覆部，用于包覆所述磁极的所述内表面；和第二包覆部，与所述第一包覆部相连且包覆所述内倾斜面，

所述磁极的所述内倾斜面具有内前端，所述内前端位于所述内倾斜面的与所述内表面的所述一端相反的一侧，

在从所述离子枪的上方观察的俯视观察中，所述罩具有从所述内前端向所述狭缝突出的突出部。

2.根据权利要求1所述的离子枪，其中，

所述罩的第二包覆部具有沿从所述离子枪的上方观察的方向延伸的表面，

在所述狭缝中彼此面对的所述第二包覆部的所述表面彼此平行。

3.一种离子枪，包括：

阳极；

磁极，具有与所述阳极相对的内表面、设置在作为所述阳极的上方的与所述阳极对应的位置上的狭缝和从所述内表面的一端向所述狭缝延伸且形成所述狭缝的一部分的内倾斜面；和

罩，至少包覆所述内表面及所述内倾斜面且由具有导电性和非磁性的材料构造，所述罩相对于所述磁极能够拆卸，

所述罩包括：第一包覆部，用于包覆所述磁极的所述内表面；和第二包覆部，与所述第一包覆部相连且包覆所述内倾斜面，

所述罩的第二包覆部具有沿从所述离子枪的上方观察的方向延伸的表面，

在所述狭缝中彼此面对的所述第二包覆部的所述表面彼此平行，

所述磁极的所述内倾斜面具有内前端，所述内前端位于所述内倾斜面的与所述内表面的所述一端相反的一侧，

在从所述离子枪的上方观察的俯视观察中，所述内前端和所述第二包覆部的所述表面对齐。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子枪，其中，

所述磁极具有：外表面，位于所述磁极的与所述内表面相反的一侧；和外倾斜面，从所述外表面的一端向所述狭缝延伸且形成所述狭缝的一部分，

所述罩包覆所述内表面、所述内倾斜面、所述外表面及所述外倾斜面。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的离子枪，其中，

构造所述罩的所述材料选自由碳、钛及铜组成的组。

6.根据权利要求5所述的离子枪，其中，

构造所述罩的所述材料为碳。