[发明专利]导电膜

说明书

一种形成一透明导电膜和一相关联的膜的方法。该方法可为一转换方法。提供具有一粘着剂的一基板的一区域，该粘着剂包含悬浮在一光敏聚合材料的多个金属纳米结构。可使用一施体基板。使用光刻法图案化粘着剂。使用一显影液显影被图案化的粘着剂，该显影液：(i)根据粘着剂的一图案移除光敏聚合材料的一部分，且(ii)包含蚀刻该多个金属纳米结构的一纳米结构蚀刻剂。

相关申请

本申请案主张标题为“导电膜(ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM)”且在2019年4月3日提出申请的序列号为62/828,734的美国临时申请案的优先权，该美国临时申请案以引用方式并入本文中。

技术领域

本发明是关于透明导电膜以及将一纳米结构在一基板上图案化的方法。

背景技术

透明导体包含光学透明和导电膜，例如通常用于触敏计算机显示器(touch-sensitive computer displays)中的膜。一般而言，导电纳米结构相互交叠以形成具有长程互连性的一渗透网络(percolating network)。渗透网络通过与金属接触物(metalcontacts)合作(即，连接)而连接至一计算机、平板计算机、智能电话或具有一触敏显示器的其他计算装置的电子电路。

转换膜(transfer films)已被作为在各种基板上沉积和图案化银纳米线(silvernanowires)的手段。一般而言，一转换膜具有施加于一施体基板(donor substrate)上的一纳米线层和一可光固化聚合物粘合剂(photocurable polymer adhesive)，该可光固化聚合物粘合剂亦称为一光敏粘着剂(photosensitive binder)。将该转换膜放置在一受体基板(receiver substrate)上，使得该可光固化聚合物粘合剂由该受体基板支撑，并且通过曝光和显影来光图案化该可光固化聚合物粘合剂，以图案化该可光固化聚合物粘合剂。然后用一溶剂或一光致抗蚀剂剥离剂来移除被曝光的该可光固化聚合物粘合剂的未固化的部分。然而，先前由现在移除的该聚合物保护的剩余纳米线可仍结合至该受体基板，进而造成相邻纳米线之间的短路的可能性。

发明内容

根据一态样，本发明提供一种形成一透明导电膜的转换方法。提供具有一粘着剂(binder)的一施体基板的一区域，该粘着剂包含悬浮在一光敏聚合材料(photosensitivepolymeric material)的多个金属纳米结构。将该施体基板和该粘着剂施加于一受体基板上，以将该粘着剂和纳米线转换至该受体基板上。可在通过一遮罩曝光之前或者在曝光之后，从施加于该受体基板的该粘着剂上移除该施体基板。使用光刻法(photolithography)图案化该粘着剂。在光式曝光(photoexposure)后，使用一显影液(developing fluid)显影该粘着剂/纳米线膜，该显影液：(i)根据该粘着剂的一图案移除该光敏聚合材料的全部或一部分，且(ii)包含提供该多个金属纳米结构的蚀刻的一纳米结构蚀刻剂(nanostructureetchant)。

根据一态样，本发明提供一种形成一透明导电膜的方法。提供具有一粘着剂的一基板的一区域，该粘着剂包含悬浮在一光敏聚合粘着剂材料的多个金属纳米结构。使用光刻法图案化该粘着剂材料。使用一显影液显影被光图案化的光敏聚合材料，该显影液：(i)根据该粘着剂的一图案移除该光敏聚合材料的一部分，且(ii)包含蚀刻该多个金属纳米结构的一纳米结构蚀刻剂。

根据一态样，本发明提供一种透明导电膜。该膜包含一基板和以一图案呈现在该基板上的一粘着剂。该图案具有多个边缘。该膜包含悬浮在该粘着剂中的金属纳米结构。在多个图案边缘的多个纳米结构被截断。该图案具有透过光刻法创造的多个边缘，其中粘着剂材料和多个纳米结构被一溶液蚀刻，该溶液包含蚀刻该多个纳米结构的金属的一成分。