[发明专利]信息处理装置、信息处理方法、以及信息处理程序

权利要求书

1.一种信息处理装置，其特征在于，具备：

第一预测部，其使用将工厂的规定工艺模型化的数学模型来计算与该工艺相关的规定参数的预测值即第一预测值；

第二预测部，其使用通过机械学习使上述工艺模型化的已学习模型来计算上述参数的预测值即第二预测值；以及

预测值确定部，其基于上述第一预测值及上述第二预测值的至少任一来确定上述参数的预测值。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

关于上述预测值确定部，

如果上述第二预测部向上述已学习模型输入的输入数据是在上述已学习模型的机械学习中使用的教师数据的范围内，则将上述第二预测值确定为上述参数的预测值，

如果上述第二预测部向上述已学习模型输入的输入数据是在上述已学习模型的机械学习中使用的教师数据的范围外，则将上述第一预测值确定为上述参数的预测值。

3.根据权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于，

所述信息处理装置具备运转模式确定部，该运转模式确定部确定上述工厂的运转模式，

上述第一预测部使用与上述运转模式确定部确定的运转模式对应的数学模型来计算上述第一预测值，

上述第二预测部使用与上述运转模式确定部确定的运转模式对应的已学习模型来计算上述第二预测值。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的信息处理装置，其特征在于，

所述信息处理装置具备输入数据生成部，该输入数据生成部使用其它的数学模型来计算针对上述数学模型及上述已学习模型的至少任一的输入数据的至少一部分。

5.根据权利要求1至4的任一项所述的信息处理装置，其特征在于，

所述信息处理装置具备工厂控制部，该工厂控制部基于上述预测值确定部确定的上述预测值来控制上述工厂。

6.根据权利要求5所述的信息处理装置，其特征在于，

在上述规定工艺中包含第一子工艺、和在该第一子工艺之后执行的第二子工艺，

就上述工厂控制部而言，关于上述第一子工艺，进行使上述预测值确定部确定的上述预测值接近规定的目标值的控制，并且，关于上述第二子工艺，进行使上述预测值确定部确定的上述预测值接近规定的目标值的控制。

7.一种信息处理装置，其特征在于，

具备：

第一控制值计算部，其使用数学模型来计算工厂的规定工艺的控制中使用的第一控制值；

第二控制值计算部，其使用通过机械学习使上述工艺模型化的已学习模型来计算上述工艺的控制中使用的第二控制值；

控制值确定部，其基于上述第一控制值及上述第二控制值的至少任一来确定上述工厂的控制中使用的控制值；以及

工厂控制部，其基于上述控制值来控制上述工厂。

8.根据权利要求7所述的信息处理装置，其特征在于，

所述信息处理装置具备运转模式确定部，该运转模式确定部确定上述工厂的运转模式，

上述工厂控制部基于上述运转模式确定部确定的运转模式来控制上述工厂。

9.一种信息处理方法，是信息处理装置的信息处理方法，其特征在于，

包含：

第一预测步骤，使用将工厂的规定工艺模型化的数学模型来计算与该工艺相关的规定参数的预测值即第一预测值；

第二预测步骤，使用通过机械学习使上述工艺模型化的已学习模型来计算上述参数的预测值即第二预测值；以及

预测值确定步骤，基于上述第一预测值及上述第二预测值的至少任一来确定上述参数的预测值。

10.一种信息处理程序，其使计算机作为权利要求1所述的信息处理装置发挥功能，使计算机作为上述第一预测部、上述第二预测部、以及上述预测值确定部发挥功能。