[发明专利]转换装置、包括转换装置的沉积装置、用于转换流体流的方法以及用于将颗粒沉积到基板上的方法

权利要求书

1.一种用于转换流体流动的转换装置，其中，所述转换装置包括：

流体导管，所述流体导管包括第一出口和用于所述流体的第一入口，

第一转换流体导管，所述第一转换流体导管包括用于转换流体的第二入口，所述第一转换流体导管被配置成在所述第一入口与所述第一出口之间的第一位置处与所述流体导管流体连接，

排气导管，所述排气导管包括第二出口，所述排气导管被配置成在所述第一入口与所述第一位置之间的第二位置处与所述流体导管流体连接，以及

控制装置，所述控制装置被配置成用于控制所述转换流体流入所述流体导管，

其中，所述转换装置进一步包括第二转换流体导管，所述第二转换流体导管被配置成与所述排气导管和所述第一转换流体导管流体连接，其中，所述控制装置被配置成用于控制所述转换流体流入所述第一转换流体导管和/或所述第二转换流体导管。

2.根据权利要求1所述的转换装置，其中，所述第一转换流体导管优选地直接汇入所述流体导管。

3.根据权利要求1所述的转换装置，其中，所述控制装置具有第一状态以及第二状态，在所述第一状态中，所述控制装置被配置成用于基本上防止流体在所述第一位置处流入所述流体导管，在所述第二状态中，所述控制装置被配置成允许所述转换流体流入所述流体导管。

4.根据前述权利要求中任一项所述的转换装置，其中，所述控制装置包括阀门。

5.根据前述权利要求中任一项所述的转换装置，其中，沿着所述流体导管在所述第一出口与所述第一位置之间的第一距离小于10cm，优选地在0.2cm与10cm之间，更优选地在0.5cm与2cm之间。

6.根据前述权利要求中任一项所述的转换装置，其中，沿着所述流体导管在所述第一出口与所述第二位置之间的第二距离小于20cm，优选地在0.2cm与20cm之间，更优选地在0.2cm与2cm之间。

7.一种沉积装置，其中，所述沉积装置包括用于将气溶胶流引导至靶材上的喷嘴和根据以上权利要求中任一项所述的转换装置，其中，所述喷嘴被布置成流体连接至所述第一出口。

8.根据权利要求7所述的沉积装置，其中，所述沉积装置进一步包括气溶胶流源，其中，所述气溶胶流源被布置成流体连接至所述第一入口。

9.根据权利要求7或8所述的沉积装置，其中，所述气溶胶流中的气溶胶颗粒的颗粒尺寸小于100nm，优选地小于10nm。

10.根据权利要求7、8或9所述的沉积装置，其中，所述沉积装置被配置成用于将特征沉积到所述靶材上，其中，所沉积的特征的特征尺寸小于1mm，并且优选地小于100μm。

11.根据权利要求7–10中任一项所述的沉积装置，其中，所述沉积装置进一步包括转换流体源，其中，所述转换流体源被布置成流体连接至所述第二入口。

12.根据权利要求11所述的沉积装置，其中，所述转换流体包括气体，优选地基本上惰性的气体，优选地氮气或氩气。

13.根据权利要求7–12中任一项所述的沉积装置，其中，所述沉积装置还包括过滤装置，其中，所述过滤装置被布置成与所述排气导管流体连接。

14.根据权利要求7–13中任一项所述的沉积装置，其中，所述沉积装置包括多个喷嘴，每个所述喷嘴布置成流体连接至所述转换装置的所述第一出口，或者每个所述喷嘴布置成流体连接至相应的转换装置的所述第一出口。