[发明专利]用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器

权利要求书

1.一种用于运行电容式MEMS传感器(1)的方法，所述方法包括步骤：

-在所述MEMS传感器(1)的可偏转地布置的震动质量(5a)上提供(S1)定义的电势；

-借助时钟控制的控制电压(10，11)电容式地激励(S2)所述震动质量(5a)的振动运动；

-通过相应于所述时钟控制的控制电压(10，11)的时钟对连接到所述震动质量(5a)上的电存储元件(3a)进行有针对性的充电和/或放电，补偿(S5)由所述时钟控制的控制电压(10，11)决定的、在所述震动质量(5a)上所提供的电势的波动。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，监测所述震动质量(5a)的振动运动，并且如此匹配所述时钟控制的控制电压(10，11)，以维持所述震动质量(5a)的定义的振动运动。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中，检测所述震动质量(5a)的振动运动的相位和/或幅度，其中，调节所述时钟控制的控制电压(10，11)的相位和/或幅度，以提供所述震动质量(5a)的定义的振动运动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，产生与所述时钟控制的控制电压(10，11)的相位耦合的控制信号(12a)，通过所述控制信号发动所述电存储元件(3a)的有针对性的充电和/或放电。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，将在所述震动质量(5a)上的待补偿的电荷确定为所述震动质量(5a)的振动运动的幅度、所述时钟控制的控制电压(10，11)的大小与所述电容的与偏转相关的操纵敏感度的乘积，其中，将对于所述电存储元件(3a)的充电电流确定为所述震动质量(5a)的振荡器的双倍谐振频率与所述待补偿的电荷的乘积。

6.一种电容式MEMS传感器(1)，所述电容式MEMS传感器包括

-震动质量(5a)，所述震动质量能够偏转地布置；

-电路装置(4)，所述电路装置用于在所述震动质量(5a)上提供定义的电势；

-激励装置(20a，21a)，所述激励装置用于电容式地激励所述震动质量(5a)进行振动运动；

-驱动装置(2)，所述驱动装置用于提供时钟控制的控制电压(10，11)，以借助所述激励装置(20a，21a)电容式地激励(S2)所述震动质量(5a)的振动运动；

-补偿装置(3)，所述补偿装置具有电存储元件(3a)，所述电存储元件与所述震动质量(5a)连接，且所述电存储元件构造用于通过相应于所述时钟控制的控制电压(10，11)的时钟对所述电存储元件(3a)进行有针对性的充电和/或放电来补偿由所述控制电压(10，11)引起的、所述震动质量(5a)上的电势的波动。

7.根据权利要求6所述的MEMS传感器，其中，所述电路装置(4)包括至少一个电荷泵(4a)，所述至少一个电荷泵与所述震动质量(5a)连接。

8.根据权利要求6或7所述的MEMS传感器，其中，所述电路装置(4)构造用于(4)：监测所述震动质量(5a)上的电势，并且相应于预给定的参考电压(Vref)对所述电势进行调节。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的MEMS传感器，其中，用于提供所述时钟控制的控制电压(10，11)的驱动装置(2)包括用于监测所述震动质量(5a)的振动运动的电路装置，尤其用于求取所述震动质量(5a)的振动运动的幅度和/或相位的变化的电路装置。

10.根据权利要求9所述的MEMS传感器，其中，所述驱动装置(2)包括用于调节所述时钟控制的控制电压(10，11)的幅度和/或相位的至少一个幅度调节器(14)和/或相位调节器(12)，以维持所述震动质量(5a)的定义的振动运动。