[发明专利]可更换的终端受动器接触垫、终端受动器和维护方法

说明书

提供了终端受动器的可更换的接触垫。接触垫在电子装置制造中支承基板。接触垫包括：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；轴，耦接至接触垫头，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围并座落在轴凹口中，并构造成将接触垫固定至终端受动器主体。描述了包括可更换的接触垫的终端受动器和维护方法的以及其他方面。

技术领域

本公开内容涉及电子装置制造，且更具体地涉及运输基板的终端受动器设备和方法。

背景技术

在电子装置制造中，可通过机器人使基板(如，含硅晶片、含硅板)在制造设施附近和制造配备工具内移动。机器人可包括机械臂，机械臂具有耦接到机械臂上的一个或多个终端受动器，终端受动器在该运输期间可接触并支承基板。终端受动器包括在终端受动器上的接触垫，接触垫通常是三个，接触垫提供升高的接触表面，基板被支承在接触表面上。

发明内容

在第一方面中，提供了一种终端受动器。终端受动器构造成支承基板，并包括：终端受动器主体，具有顶表面和底表面；凹槽，从底表面延伸到主体中；和孔，形成在主体中并在顶表面和凹槽之间延伸；接触垫，设置在终端受动器主体上，接触垫进一步包含：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；和轴，耦接至接触垫头和容纳在孔中并延伸到凹槽中，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围和座落在轴凹口中，以将接触垫固定至终端受动器主体。

在另一方面中，提供了一种接触垫，该接触垫适以固定至终端受动器的终端受动器主体。接触垫包括：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；轴，耦接至接触垫头，轴包括形成在接触垫头108H的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围和座落在轴凹口中，并构造成将接触垫固定至终端受动器主体。

在方法方面中，提供了一种维护在电子装置制造中适以运输基板的终端受动器的方法。方法包括以下步骤：提供终端受动器的终端受动器主体，终端受动器主体具有顶表面和底表面；凹槽，从底表面延伸到终端受动器主体中；和孔，在顶表面和凹槽之间延伸；提供具有接触垫头的接触垫，接触垫头具有构造成接触并支承基板的接触表面；和轴，耦接至接触垫头，轴包括在该接触垫头的下侧和轴端之间形成的轴凹口；提供圆形固定构件；将轴穿过孔插入凹槽中；和将圆形固定构件固定在轴周围并座落在轴凹口中，以将接触垫固定至终端受动器主体。

通过以下的具体实施方式、所附的权利要求和附图，本公开内容的其他特征结构和方面将变得更加显而易见。

附图说明

图1显示了根据本公开内容的实施例的包括一个或多个可更换的接触垫的终端受动器的例子的透视图。

图2A显示了根据本公开内容的一些实施例的包括可更换的接触垫的终端受动器的一部分的沿图1的截面2A-2A截取的局部截面图。

图2B显示了图2A的终端受动器的一部分的底视图，显示了根据本公开内容的多个实施例的构造成在凹槽和孔中容纳可更换的接触垫的凹槽和孔(为了说明目的而移除了可更换的接触垫)。

图2C显示了图2A的终端受动器的一部分的底视图，显示了根据本公开内容的多个实施例的安装在凹槽和孔中并用圆形固定构件固定的可更换的接触垫。

图2D显示了根据本公开内容的一些实施例的可更换的接触垫的示例性接触垫主体的截面侧视图。

图3A显示了图2A的圆形固定构件的顶部平面图，包含根据本公开内容的一些实施例的O形环。

图3B显示了沿着图3A的截面3B-3B截取并包含根据本公开内容的一些实施例的可更换的接触垫的O形环的图3A的圆形固定构件的截面侧视图。

图4A显示了根据本公开内容的可选实施例的终端受动器的一部分的截面侧视图，终端受动器包括适于在320℃以上的高温操作的示例性可更换的接触垫。