[发明专利]浓度测定装置

说明书

本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。

技术领域

本发明涉及一种浓度测定装置，特别涉及一种基于透过气体的光的吸光度来检测气体的浓度的浓度测定装置。

背景技术

半导体制造装置所使用的气体供给系统构成为，经由按每个气体种类设置的流量控制器，将多种气体切换供给到处理腔室。半导体制造中使用的气体的种类有逐年增加的倾向，气体供给管线的数量以及所使用的流体控制装置的数量也在增多。

作为形成多个气体供给管线的手段，广泛利用于由本申请申请人开发的集成化气体供给系统IGS(注册商标)。在集成化气体供给系统中，在底板上配置、固定：流路块体(接头块体)、开闭阀、流体控制器等，由此形成各气体供给管线。

另外，在集成化气体供给系统中，已知有将各供给管线的出口侧与共通的歧管块体(合流块体)连接的结构(例如专利文献1)。与各管线连接的歧管块体的出口经由流路与处理腔室连接，通过控制设置于各供给管线的开闭阀，能够供给任意的气体。

另一方面，已知有构成为组装于气体供给管线来测定气体浓度的浓度测定装置(在线式浓度测定装置)。在专利文献2中公开了一种浓度测定装置，其使规定波长的光从光源经由光入射窗入射到作为流路的一部分而组装的测定单元，根据通过了测定单元内的透射光来测定吸光度。根据测定的吸光度，能够根据朗伯-比尔定律等求出流体的浓度。

现有的技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2012-197941号公报

专利文献2：国际公开第2018/021311号

以往的在线式浓度测定装置在集成化气体供给系统的下游侧，更具体地，在集成化气体供给系统与处理腔室之间的流路的中途另外配置。例如，专利文献2所记载的使用了垂直型的测定单元(测定单元内的流路与管线流路正交的类型)的反射型的浓度测定装置是比较紧凑的设计，光学系统的安装部汇集于测定单元的上端，因此即使在流路的中途，设置也比较容易。

然而，以往的浓度测定装置虽说向小型化发展，但需要确保用于设置的空间。因此，对于连接有各种设备并且在其周围几乎不存在剩余的空间的近年的半导体制造装置而言，要求尽可能不需要设置空间就能够组装于气体供给系统并适当地测定气体的浓度的在线式的浓度测定装置。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种以紧凑的方式组装于气体供给系统的浓度测定装置。

根据本发明的实施方式的浓度测定装置构成为测定在连接有多个气体供给管线的合流块体中流动的气体的浓度，上述浓度测定装置具备：光源，所述光源发出向形成于所述合流块体的流路入射的光；光检测器，所述光检测器接收从所述流路出射的光；以及运算控制电路，所述运算控制电路基于所述光检测器的输出来求出在所述流路中流动的气体的浓度，用于使来自所述光源的光入射到所述流路的透光性的入射窗以及用于使通过了所述流路的光出射的透光性的出射窗中的至少任意一个相对于所述合流块体密封固定。

在某实施方式中，所述合流块体具有与所述多个气体供给管线分别连接的多个副流路和与所述多个副流路连接的主流路，所述入射窗和所述出射窗密封固定在所述主流路的两端部。