[发明专利]控制系统及控制程序

说明书

测量传感器以从控制对象的处理对象点起沿着目标轨道离开了规定距离的位置成为测量点的方式，与控制对象一体化。控制装置包括：第一生成部，生成控制对象在平面上的第一指令位置；第一控制部，通过模型预测控制，生成第一操作量；第二生成部，生成控制对象在与所述平面正交的正交轴上的第二指令位置；以及第二控制部，通过模型预测控制，生成第二操作量。第二生成部基于测量传感器的测量结果及第一指令位置，以控制对象与对象物的表面的距离为一定的方式生成第二指令位置。由此，控制对象精度良好地追随对象物的表面的形状。

技术领域

本技术涉及一种控制系统及控制程序。

背景技术

日本专利特开2004-298697号公报(专利文献1)公开了即使在基板的表面有起伏的情况下，也使涂布液喷出用模头充分靠近基板，在基板上形成均匀的涂布膜的涂布方法。所述涂布方法包括：测定涂布前基板的表面的形状的工序；以及基于形状的测定结果，调节涂布液喷出用模头与基板的间隔，使涂布液喷出用模头追随基板的表面的形状而移动的工序。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2004-298697号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在专利文献1中，一边使涂布液喷出用模头在与基板平行的方向上移动，一边使涂布液喷出用模头追随基板的表面的形状而上下移动。因此，以使涂布液喷出用模头在与基板平行的方向上移动的机构和使涂布液喷出用模头上下移动的机构相互关联的方式进行控制。

在使这样的两个机构相互关联地进行动作的情况下，所述两个机构间的控制响应延迟的差异成为问题。然而，在专利文献1中，未考虑两个机构间的控制响应延迟的差异。在两个机构间控制响应延迟存在差异的情况下，无法使作为控制对象的模头精度良好地追随作为对象物的基板的表面的形状。特别是，在对象物的表面的起伏梯度大的情况下，或者控制对象的移动速度快的情况下，无法使控制对象精度良好地追随对象物的表面的形状。

本公开是鉴于所述问题而完成，其目的在于提供一种可使控制对象精度良好地追随对象物的表面的形状的控制系统及控制程序。

解决问题的技术手段

根据本公开的一例，控制系统包括：对对象物的表面执行规定处理的控制对象；测量至对象物的表面上的测量点的距离的测量传感器；用于变更对象物与控制对象的相对位置关系的多个驱动装置；以及在每个控制周期向多个驱动装置输出操作量的控制装置。多个驱动装置包括：第一驱动装置，用于使控制对象沿着与对象物的表面相向的平面上的目标轨道相对于对象物进行相对移动；以及第二驱动装置，用于使控制对象沿着与平面正交的正交轴相对于对象物进行相对移动。测量传感器以从成为控制对象所进行的规定处理的对象的处理对象点起、沿着目标轨道离开了规定距离的位置成为测量点的方式，与控制对象一体化。控制装置包括第一生成部、第一控制部、第二生成部及第二控制部。第一生成部基于目标轨道，生成各控制周期中控制对象在平面上的第一指令位置。第一控制部通过使用表示向第一驱动装置输出的第一操作量与控制对象在平面上的位置的关系的第一动态特性模型及第一指令位置的模型预测控制，生成第一操作量。第二生成部生成各控制周期中控制对象在正交轴上的第二指令位置。第二控制部通过使用表示向第二驱动装置输出的第二操作量与控制对象在正交轴上的位置的关系的第二动态特性模型及第二指令位置的模型预测控制，生成第二操作量。第二生成部基于测量传感器的测量结果及第一指令位置，以控制对象与对象物的表面的距离为一定的方式生成第二指令位置。

根据此公开，控制装置通过模型预测控制进行控制对象的移动控制。此时，基于测量传感器的测量结果，生成各控制周期中的第二指令位置。其结果，可使控制对象精度良好地追随对象物的表面的形状。

在上述的公开中，从本次控制周期的第一指令位置到属于预测视界的控制周期的第一指令位置的距离比规定距离短。