[发明专利]层叠体、组合物及层叠体形成用套组

权利要求书

1.一种层叠体，其依次包含基材、有机层、保护层及感光层，

所述感光层包含具有阴离子部的鎓盐型光产酸剂，所述阴离子部具有包含选自由稠环结构、交联环结构及螺环结构组成的组中的至少一种环结构的基团，

所述感光层供于使用显影液的显影，

所述保护层供于使用剥离液的去除。

2.根据权利要求1所述的层叠体，其含有包含杂环结构的环结构作为所述环结构。

3.根据权利要求1或2所述的层叠体，其包含选自由金刚烷环结构、莰酮环结构及萘环结构组成的组中的至少一种作为所述环结构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的层叠体，其中，

所述保护层包含水溶性树脂。

5.根据权利要求4所述的层叠体，其中，

所述水溶性树脂为包含下述式(P1-1)～式(P4-1)中任一个所表示的重复单元的树脂，

式(P1-1)～(P4-1)中，R^P1表示氢原子或甲基，R^P2表示氢原子或甲基，R^P3表示(CH₂CH₂O)_maH、CH₂COONa或氢原子，ma表示1～2的整数。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠体，其中，

所述显影为负型显影。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的层叠体，其中，

相对于所述显影液的总质量，有机溶剂的含量为90质量％～100质量％。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的层叠体，其中，

所述感光层含有包含在侧链具有环状醚酯结构的重复单元的树脂。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的层叠体，其中，

所述具有环状醚酯结构的重复单元为下述式(1)所表示的重复单元，

式(1)中，R⁸表示氢原子或烷基，L¹表示羰基或亚苯基，R¹～R⁷分别独立地表示氢原子或烷基。

10.一种组合物，其用于形成权利要求1至9中任一项所述的层叠体中所包含的所述保护层。

11.一种组合物，其用于形成权利要求1至9中任一项所述的层叠体中所包含的所述感光层，所述组合物包含具有阴离子部的鎓盐型光产酸剂，所述阴离子部具有包含选自由稠环结构、交联环结构及螺环结构组成的组中的至少一种环结构的基团。

12.一种层叠体形成用套组，其包含下述A及B，

A：用于形成权利要求1至9中任一项所述的层叠体中所包含的所述保护层的组合物；

B：用于形成权利要求1至9中任一项所述的层叠体中所包含的所述感光层的组合物，所述组合物包含具有阴离子的鎓盐型光产酸剂，所述阴离子具有包含选自由稠环结构、交联环结构及螺环结构组成的组中的至少一种环结构的基团。