[发明专利]真空泵及用于真空泵的密封部件在审
申请号: | 202080020392.1 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN113518864A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 高阿田勉 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F16J15/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张泽洲;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 用于 密封 部件 | ||
本发明提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳(14a)的中心设置的多个定子翼(19)、被内包于吸气侧壳(14a)而被旋转自如地支承的转子轴(21)、放射状地设置于转子轴(21)的周围的多个转子翼(20)、使转子轴(21)旋转的马达(16)、环状的密封部件(41),前述密封部件(41)承受由吸气侧壳(14a)和排气侧壳(14b)沿厚度方向夹紧的力而弹性变形,保持吸气侧壳(14a)和排气侧壳(14b)之间的气密性。密封部件在其截面具有在外周部被凹陷状地形成的变形促进部和将力在接近变形促进部的偏心位置承受的密封部。
技术领域
本发明例如涉及涡轮分子泵等真空泵、用于真空泵的密封部件。
背景技术
一般地,作为真空泵的一种,已知涡轮分子泵。该涡轮分子泵中,通过向泵主体内的马达的通电使转子翼旋转,通过将吸入泵主体的气体的气体分子弹飞来排出气体。此外,这样的涡轮分子泵采用利用作为弹性体的密封部件(O型圈)的密封构造。并且,在涡轮分子泵中,通过将密封部件夹入零件间以某种程度压溃,保持零件间的气密性。
如上所述的密封构造中有将密封部件从侧面(外径方向)夹入的类型的构造、从上下表面(轴向)夹入的类型的构造。并且,涡轮分子泵的装配时,密封部件为了不由于扭转而变形(扭转变形)、不由于与接触的零件的卡挂而破损,一般对密封部件进行真空润滑脂的涂覆。
此外,涡轮分子泵的装配时,多个结构零件的尺寸公差累积,作为公差的合计的累积公差通常并非一样。因此,相邻的零件(相邻零件)将密封部件压溃的量(密封部件的压溃余量)上有针对每个涡轮分子泵发生不均(压溃余量幅度的变动)的情况,密封部件的被压溃的量(应变)不一定恒定。并且,即使使用相同材质、大小的密封部件,由于密封部件的压溃余量的不同,也有密封性能上发生不同的情况。
进而,也有如下涡轮分子泵:重复使用多个密封部件、间隔件,消除相对于每一个密封部件的累积公差引起的密封部件的压溃余量不均,整体上增加密封部件的能够对应的压溃余量幅度的变动量(专利文献1)。根据这样的涡轮分子泵,能够灵活地对应压溃余量的不同,在密封部件上难以发生扭转变形、卡挂等,所以无需使用真空润滑脂。此外,周边零件的尺寸公差比较大、密封部件的压溃余量的不均较大的情况下,也能够发挥适当的密封性能。
专利文献1:日本特许第6113071号公报。
但是,如上所述的各种的真空泵中、对密封部件涂覆真空润滑脂的真空泵中,有真空润滑脂由于蒸发等要因混入真空系统的排气路径而成为真空环境中的污染(真空污染)的原因的情况。此外,专利文献1所公开的类型的真空泵中,由于使用多个密封部件,在密封部件之间配置间隔件等,零件个数变多。因此,专利文献1中所公开的类型的真空泵中,有成本增加或装配性(装配的容易性)恶化的情况。
发明内容
本发明的目的在于提供零件个数少而密封性优异的真空泵、及能够以较少的零件个数发挥高密封性的密封部件。
(1)用于实现上述目的的本发明是一种真空泵,其特征在于,具备吸气侧零件、排气侧零件、旋转轴、马达、密封部件,前述吸气侧零件具有气体的吸气部,前述排气侧零件被与前述吸气侧零件组合,前述旋转轴被内包于前述吸气侧零件,被旋转自如地支承,前述马达使前述旋转轴旋转,前述密封部件为环状,承受由前述吸气侧零件和前述排气侧零件沿厚度方向夹紧的力而弹性变形,保持前述吸气侧零件和前述排气侧零件之间的气密性,前述密封部件具有变形促进部和密封部,前述变形促进部在外周部被凹陷状地形成,前述密封部将前述力在接近前述变形促进部的偏心位置承受。
(2)此外,为了实现上述目的,其他本发明是上述(1)所述的真空泵,其特征在于,具有装配部,前述装配部在内周部形成为平面状,与前述吸气侧零件及前述排气侧零件的某一方面接触。
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