[发明专利]用于形成具有较亮边缘或较暗边缘的均匀强度分布的设备

权利要求书

1.光束均化器，包括：

第一透镜阵列，所述第一透镜阵列具有多个相同的透镜元件，所述第一透镜阵列的每个透镜元件具有焦距F₁，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件相隔间隙，每个间隙具有共同的宽度；

第二透镜阵列，所述第二透镜阵列的每一透镜元件具有焦距F₂，所述第一透镜阵列与所述第二透镜阵列相隔不等于F₂的距离；以及

正透镜，位于具有焦距F₃的光轴上，所述第一透镜阵列、所述第二透镜阵列和所述正透镜沿所述光轴依次排列。

2.如权利要求1所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列相隔大于F₂的距离。

3.如权利要求1所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列相隔小于F₂的距离。

4.如权利要求1所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列相隔距离F₂±δ且δ小于F₂的10％。

5.如权利要求4所述的光束均化器，其中，δ小于F₂的5％。

6.如前述权利要求中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙是空间隙或气隙。

7.如权利要求1至5中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙由与所述第一透镜阵列的透镜元件相同的材料制成。

8.如权利要求7所述的光束均化器，其中，所述第一阵列的所述间隙和所述透镜元件的制造材料是透明玻璃或聚合物。

9.如前述权利要求中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙固定连接所述相邻透镜元件。

10.如前述权利要求中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙没有光焦度。

11.如权利要求10所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙是具有平面平行面的平板形式。

12.如权利要求10所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙为具有平面但不平行的面的楔形件的形式。

13.如权利要求1至5中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列的相邻透镜元件之间的间隙被具有焦距比F₁长至少五倍的光学元件占据。

14.如前述权利要求中任一项所述的光束均化器，其中，具有位于距所述第二透镜阵列的距离F₂处的像平面中的较宽带和较窄带的重复图案的图像被成像到位于距正透镜距离F₃处的照明平面上。

15.如前述权利要求中任一项所述的光束均化器，其中，所述第一透镜阵列被配置和布置为平行于所述光轴纵向平移。