[发明专利]蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模中间体

说明书

蒸镀掩模的制造方法包括：准备金属板以及玻璃基板的工序，在25℃以上100℃以下的温度范围内，玻璃基板的线膨胀系数与金属板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10supgt;‑6/supgt;/℃以下；经由树脂层将玻璃基板与金属板接合的工序；通过在与玻璃基板接合后的金属板形成多个掩模孔而从金属板形成掩模板的工序；将掩模板中的与树脂层所接触的面相反侧的面与掩模框架接合的工序，该掩模框架具有比掩模板高的刚性，且具有将多个掩模孔的整体包围的形状；以及从与掩模框架接合后的掩模板取下树脂层以及玻璃基板的工序。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模中间体。

背景技术

有机EL设备所具备的EL元件通过蒸镀形成。在形成EL元件时，使用对EL元件所具备的功能层进行绘图的蒸镀掩模。蒸镀掩模具备多个掩模板、以及供各掩模板安装的共通的框架。框架具有将蒸镀对象的周围包围的四方框状。各掩模板是具有长条状的金属箔。在掩模板上，沿着掩模板延伸的方向，隔开间隔地排列有多个掩模区域。在各掩模区域中，与功能层的图案相应地形成有多个贯通孔。在各掩模板中，比掩模区域靠外侧的区域为周边区域。周边区域是包围掩模区域的区域。各掩模板以多个掩模区域位于由框架包围的区域内的方式固定于框架。多个掩模区域所排列的方向为长边方向，各掩模板在位于长边方向两端的周边区域被固定于框架(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-127721号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，蒸镀掩模被期待提高图案相对于蒸镀对象的位置等的精度。因此，在蒸镀掩模中使用了如下技术：在形成于掩模板的掩模孔中，从与蒸镀源对置的第1开口朝向与蒸镀对象对置的第2开口使掩模孔的通路面积单调地减小。通路面积是掩模孔在与蒸镀掩模延展的平面平行的各平面中的面积。此外，近年来，为了提高图案中的膜厚的均匀性，还希望减薄第1开口与第2开口之间的距离、即掩模板的厚度。

另一方面，在掩模板的厚度较薄的情况下，难以得到足够的掩模板的机械耐性，掩模板的操作变得非常困难。因此，关于上述掩模板，提高掩模板的处理性的技术备受期待。

本发明的目的在于提供能够提高掩模板的处理性的蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法以及蒸镀掩模中间体。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的蒸镀掩模的制造方法，是从铁-镍系合金制的金属板制造具备包括多个掩模孔的掩模板的蒸镀掩模的蒸镀掩模的制造方法。该蒸镀掩模的制造方法包括：准备金属板及玻璃基板的工序，上述金属板及上述玻璃基板为，在25℃以上100℃以下的温度范围内，玻璃基板的线膨胀系数与金属板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10^-6/℃以下；经由树脂层将上述玻璃基板与上述金属板接合的工序；通过在与上述玻璃基板接合后的上述金属板形成多个掩模孔而从上述金属板形成掩模板的工序；将上述掩模板中的与上述树脂层所接触的面相反侧的面与掩模框架接合的工序，该掩模框架具有比上述掩模板高的刚性，且具有将上述掩模板所包含的上述多个掩模孔的整体包围的形状；以及从与上述掩模框架接合后的上述掩模板取下上述树脂层及上述玻璃基板的工序。

用于解决上述课题的显示装置的制造方法包括：使用通过上述蒸镀掩模的制造方法制造出的蒸镀掩模在蒸镀对象形成图案的工序。