[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

能量封闭层；

压电体层，设置在所述能量封闭层上，使用了切割角为-10°以上且65°以下的Y切割X传播的钽酸锂；以及

IDT电极，设置在所述压电体层上，

所述IDT电极具有多个电极指，所述多个电极指包含层叠体，所述层叠体具有：Al金属层，是Al层或包含Al的合金层；以及高声阻抗金属层，杨氏模量为200GPa以上，且声阻抗比Al高，

所述高声阻抗金属层位于比所述Al金属层更靠所述压电体层侧，

在将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ并将所述压电体层的波长相对膜厚设为t_LT时，t_LT≤1λ，

在将通过所述Al金属层的密度以及杨氏模量对所述电极指的各层的膜厚进行了归一化的各归一化膜厚的合计设为T时，满足下述的式1，

T≤0.1125t_LT+0.0574…式1。

2.一种弹性波装置，具备：

能量封闭层；

压电体层，设置在所述能量封闭层上，使用了切割角为-10°以上且65°以下的Y切割X传播的钽酸锂；以及

IDT电极，设置在所述压电体层上，

所述IDT电极具有多个电极指，所述多个电极指包含层叠体，所述层叠体具有：Al金属层，是Al层或包含Al的合金层；以及高声阻抗金属层，杨氏模量为200GPa以上，且声阻抗比Al高，

所述高声阻抗金属层位于比所述Al金属层更靠所述压电体层侧，

所述高声阻抗金属层是Mo层、W层或Ru层，

满足下述的式2，

所述式2的各系数以及构成所述高声阻抗金属层的金属的组合为下述的表1所示的组合，

[数学式1]

[表1]

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述Al金属层是Al层，所述Al金属层的膜厚为85nm以上。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述能量封闭层具有高声速材料层，

在所述高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述能量封闭层具有设置在所述高声速材料层与所述压电体层之间的低声速膜，

在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低。

6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，

所述高声速材料层是高声速支承基板。

7.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

还具备支承基板，

所述高声速材料层是设置在所述支承基板与所述低声速膜之间的高声速膜。

8.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

还具备支承基板，

所述能量封闭层是设置在所述支承基板上的声反射膜，

所述声反射膜具有声阻抗相对高的高声阻抗层和声阻抗相对低的低声阻抗层，所述高声阻抗层以及所述低声阻抗层交替地层叠，

在所述声反射膜上设置有所述压电体层。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层的膜厚为0.05λ以上且0.5λ以下。

10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层的膜厚为0.05λ以上且0.35λ以下。