[发明专利]滚筒研磨装置

说明书

一个方式的滚筒研磨装置具备划分研磨空间的固定槽以及转盘。固定槽将规定的轴线作为中心轴线。固定槽具有筒状刚体以及覆盖筒状刚体的内周面的第一内衬。转盘具有盘状刚体以及覆盖盘状刚体的研磨空间侧的表面的第二内衬，被配置为在第一内衬与第二内衬之间形成有间隙的状态下能够旋转。在盘状刚体形成有沿规定的轴线方向向研磨空间侧突出的凸部。凸部的与间隙重叠的部分在规定的轴线方向上的长度为间隙在规定的轴线方向上的长度的三分之一以上。

技术领域

本公开涉及滚筒研磨装置。

背景技术

利用了通过在研磨空间内使被处理体和研磨材料一起流动来研磨被处理体的流动滚筒研磨装置。一般而言，流动滚筒研磨装置具备圆筒形的固定槽和以关闭固定槽的下部开口的方式配置的转盘。在固定槽的内壁面以及转盘的研磨空间侧的表面形成有具有耐磨性的内衬。在固定槽的内衬与转盘的内衬之间形成有间隙，该转盘以维持着该间隙的状态相对于固定槽旋转。

在流动滚筒研磨装置中，若研磨空间内的温度因长时间研磨被处理体而上升，则固定槽以及转盘的内衬热膨胀，在固定槽与转盘之间形成的间隙的宽度变窄。若内衬的膨胀进行，固定槽的内衬与转盘的内衬接触，则固定槽的内衬和转盘的内衬因摩擦热而熔敷，从而转盘无法旋转。

作为控制在固定槽与转盘之间形成的间隙的宽度的技术，公知有专利文献1记载的滚筒研磨装置。专利文献1的滚筒研磨装置具备圆筒形的固定槽和关闭固定槽的下部开口的转盘。该固定槽具有圆筒形的金属壁和在该金属壁的内周面形成的内衬层。转盘具有圆盘状的金属部件和在该金属部件的表面形成的内衬层。在固定槽的内衬层与转盘的内衬层之间形成有微小间隙部。在固定槽的金属壁与内衬层之间形成有退避层。

专利文献1：日本特开平10－277917号公报

专利文献1的滚筒研磨装置通过使固定槽的内衬层向退避层侧膨胀，防止膨胀向间隙侧进行，从而微小间隙部的宽度不变窄。然而，在专利文献1的滚筒研磨装置中，由于未采取抑制转盘的内衬层向微小间隙部侧膨胀的措置，所以微小间隙部的宽度因转盘的内衬层的膨胀而变窄。因此，在专利文献1的滚筒研磨装置中，需要以能够允许转盘的内衬层的膨胀的方式将微小间隙部的宽度增大某种程度。因此，存在在微小间隙部的宽度被较大设定的情况下，为了避免被处理体被夹持在微小间隙部而难以研磨微小的被处理体等的情况。

发明内容

因此，希望提供一种滚筒研磨装置，能够减小随着内衬的膨胀的固定槽与转盘之间的间隙的宽度的变化量。

一个方式的滚筒研磨装置具备划分研磨空间的固定槽以及转盘。固定槽将规定的轴线作为中心轴线。固定槽具有筒状刚体以及覆盖筒状刚体的内周面的第一内衬。转盘具有盘状刚体以及覆盖盘状刚体的研磨空间侧的表面的第二内衬，被配置为在第一内衬与第二内衬之间形成有间隙的状态下能够旋转。在盘状刚体形成有沿规定的轴线方向向研磨空间侧突出的凸部，该凸部的周围通过第二内衬被覆盖。从与规定的轴线正交的方向观察，凸部与间隙重叠，凸部的与间隙重叠的部分在规定的轴线方向上的长度为间隙在规定的轴线方向上的长度的三分之一以上。

在上述方式的滚筒研磨装置中，在转盘的盘状刚体设置有沿规定的轴线方向向研磨空间侧突出的凸部，该凸部被配置为与间隙重叠。由于该凸部限制第二内衬向外周方向(间隙侧)的膨胀，所以第二内衬的膨胀向轴线方向进行。因此，能够减小随着第二内衬的膨胀的间隙的宽度的变化量。

在一实施方式中也可以为，盘状刚体具有中心区域和包围中心区域的外侧区域，凸部设置于外侧区域，凸部上的第二内衬的厚度比中心区域上的第二内衬的厚度大。外侧区域上的第二内衬比中心区域上的第二内衬容易进行磨耗。通过使凸部上的第二内衬的厚度比中心区域上的第二内衬的厚度大，凸部上的第二内衬难以磨耗，从而凸部难以在研磨空间露出。因此，能够提高滚筒研磨装置的寿命。

在一实施方式中也可以为，盘状刚体呈圆盘状，凸部设置于盘状刚体的径向外侧的端部。在该实施方式中，由于凸部配置于间隙的附近，所以能够更加抑制第二内衬向间隙侧膨胀。