[发明专利]V合金靶在审
申请号: | 202080023752.3 | 申请日: | 2020-03-02 |
公开(公告)号: | CN113614280A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 十亀宏明;福冈淳 | 申请(专利权)人: | 日立金属株式会社 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;B22F1/00;C22C1/04;C22C27/02;C22C27/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 合金 | ||
【权利要求书】:
1.一种V合金靶,包含V及W,且侵蚀面中的维氏硬度的平均值为340HV~750HV,在5点测定点进行测定而得的维氏硬度的偏差为20%以下。
2.根据权利要求1所述的V合金靶,其中所述维氏硬度的平均值为350HV~710HV。
3.根据权利要求1或2所述的V合金靶,含有10原子%~50原子%的W且剩余部分包含V及不可避免的杂质。
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