[发明专利]电容式传感器

权利要求书

1.一种电容式传感器，包括

基板(14)；

电极结构(10)，包括

至少第一电极(11)和第二电极(12)；以及

感测层(15)，布置在第一电极(11)和第二电极(12)之间；以及

测量电路(40，500，600)，被配置为

通过以下来测量电极结构(10)的电容

在第一测量阶段向第一电极(11)和第二电极(12)施加包括第一电极的第一电位和第二电极的第一电位的第一对电位；以及

在第二测量阶段向第一电极(11)和第二电极(12)施加包括第一电极的第二电位和第二电极的第二电位的第二对电位；

其特征在于

第二电极(12)的第一电位与第二电极(12)的第二电位彼此不同；

其中

施加第一对电位和第二对电位，使得

0＜＝(V_A1-V_A2)＜＝(V_B2-V_B1)＊C_BE/C_AE，或者

(V_B2-V_B1)＊C_BE/C_AE＜＝(V_A1-V_A2)＜＝0；

其中

V_A1是第一电极在第一测量阶段的第一电位；

V_A2是第一电极在第二测量阶段的第二电位；

V_B1是第二电极在第一测量阶段的第一电位；

V_B2是第二电极在第二测量阶段的第二电位；

C_AE是第一电极与布置在感测层的表面上的虚拟电极之间的电容；以及

C_BE是第二电极与布置在感测层的表面上的虚拟电极之间的电容。

2.根据权利要求1所述的传感器，其中选择第一对电位和第二对电位，使得感测层(15)的表面(31)与感测层(15)的表面(31)周围的电气结构(50)之间的泄漏电流被最小化，特别是在感测层(15)的表面(31)被污染的情况下或在感测层(15)的表面(31)上发生凝结的情况下。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的传感器，其中

施加第一对电位和第二对电位，使得

0＜＝(V_A1-V_A2)＜＝(V_B2-V_B1)＊C_BE/C_AE；或者

(V_B2-V_B1)＊C_BE/C_AE＜＝(V_A1-V_A2)＜0。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器，

其中施加第一对电位和第二对电位，使得

(V_A1-V_A2)＝(V_B2-V_B1)＊C_BE/C_AE。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器，

其中第一对电位的平均电位与第二对电位的平均电位相同。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器，其中测量电路(40，700，800)被配置为

在第二电极(12)处感测第一测量阶段与第二测量阶段之间的所得电荷差。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器，其中测量电路包括开关电容器电路系统和/或开关电流电路系统，用于生成第一对电位和第二对电位和/或用于感测所产得电荷差。