[发明专利]测量方法以及检查装置

权利要求书

1.一种测量方法，其特征在于，对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：

(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；

(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；

(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；

(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及

(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。

2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于

所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。

3.根据权利要求1或2所述的测量方法，其特征在于，还包括下述步骤：

(f)使用多个所述电流检测部，在与多个所述第一电极分别对应的第一配线中的检查对象物侧的端部、和与多个所述第二电极分别对应的第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及

(g)使用多个所述电流检测部，测量所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，

在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。

4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，还包括下述步骤：

(h)使用多个所述电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各第一配线及各第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，

在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。

5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，包括下述步骤：

(i)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；

(j)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一短路配线间阻抗；以及

(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的所述第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，

在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。

6.一种测量方法，其特征在于，对彼此隔离地设有第一电极与第二电极的多个检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：

(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个进行校准；

(b)从多个所述检查对象物中选定多个基准样本；

(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量各所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；

(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量各所述检查对象物的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及

(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。