[发明专利]高厚度旋涂式碳硬掩膜组合物及利用其的图案化方法

权利要求书

1.一种旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述组合物为具有由下述化学式1表示的结构的聚合物，包括具有重量平均分子量2,000至200,000的聚合物，

[化学式1]

在上述式中，l、m和n分别为1≤l≤40，1≤m≤40，1≤n≤40的范围，

R₁包括氢、羟基、中的任一个，

R₂包括中的任一个，

R₃包括中的任一个。

2.根据权利要求1所述的旋涂式硬掩膜组合物，其中，

在上述化学式1的R₁中，X₁至X₃₅各自独立地包括：氢、羟基、取代或未取代的C₁至C₃的烷基或它们的组合。

3.根据权利要求1所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述聚合物的重量平均分子量为2,500至20,000。

4.根据权利要求3所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述聚合物的重量平均分子量为3,500至15,000。

5.根据权利要求1所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述旋涂式硬掩膜组合物由化学式1表示的聚合物、有机溶剂及表面活性剂组成。

6.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述聚合物在整个所述组合物中包含1至50重量％。

7.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述有机溶剂在整个所述组合物中包含50至99重量％。

8.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述表面活性剂在整个所述组合物中包含0至2重量％。

9.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述有机溶剂是选自由丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、环己酮、γ-丁内酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、乙酸正丁酯、N-甲基吡咯烷酮、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯或二甲基甲酰胺所组成的组中的一种或它们的两种以上的混合物。

10.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述表面活性剂是选自由聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚氧乙烯壬基苯基醚类、聚氧乙烯辛基苯基醚类、聚氧乙烯聚氧丙烯类、聚氧乙烯月桂醚类或聚氧乙烯脱水山梨糖醇类中的一种或由它们的两种以上的混合物所组成的组。

11.根据权利要求5所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述旋涂式硬掩膜组合物由1重量％至50重量％的聚合物、50重量％至99重量％的有机溶剂、及0至2重量％的表面活性剂组成。

12.根据权利要求11所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述有机溶剂是选自由丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、环己酮、γ-丁内酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、乙酸正丁酯、N-甲基吡咯烷酮、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯或二甲基甲酰胺所组成的组中的一种或它们的两种以上的混合物。

13.根据权利要求11所述的旋涂式硬掩膜组合物，其特征在于，

所述表面活性剂是选自由聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚氧乙烯壬基苯基醚类、聚氧乙烯辛基苯基醚类、聚氧乙烯聚氧丙烯类、聚氧乙烯月桂醚类或聚氧乙烯脱水山梨糖醇类中的一种或由它们的两种以上的混合物组成的组。