[发明专利]多晶硅原料在审
申请号: | 202080026836.2 | 申请日: | 2020-04-02 |
公开(公告)号: | CN113661277A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 浅野卓也;佐伯幸一;惠本美树;小野田透 | 申请(专利权)人: | 株式会社德山 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;朴秀玉 |
地址: | 日本山口*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 原料 | ||
1.一种多晶硅原料,其特征在于,所述多晶硅原料是包含多种多晶硅块的单晶硅制造用多晶硅原料,
将在所述多晶硅原料的主体内存在的施主元素的合计浓度设为Cd1[ppta]、在所述多晶硅原料的主体内存在的受主元素的合计浓度设为Ca1[ppta]、在所述多晶硅原料的表面存在的施主元素的合计浓度设为Cd2[ppta]、在所述多晶硅原料的表面存在的受主元素的合计浓度设为Ca2[ppta]时,所述Cd1、Ca1、Cd2和Ca2满足下述关系:2[ppta]≤(Cd1+Cd2)-(Ca1+Ca2)≤8[ppta]。
2.根据权利要求1所述的多晶硅原料,其特征在于,
在将所述多晶硅原料所包含的多晶硅块的总重量设为100%时,多晶硅块的最大边长为10mm以上且45mm以下的多晶硅块的重量为90%以上。
3.根据权利要求1所述的多晶硅原料,其特征在于,
在将所述多晶硅原料所包含的多晶硅块的总重量设为100%时,多晶硅块的最大边长为20mm以上且70mm以下的多晶硅块的重量为90%以上。
4.根据权利要求1所述的多晶硅原料,其特征在于,
在将所述多晶硅原料所包含的多晶硅块的总重量设为100%时,多晶硅块的最大边长为60mm以上且100mm以下的多晶硅块的重量为90%以上。
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