[发明专利]器件参数的测量方法

权利要求书

1.一种器件参数的测量方法，所述方法包括：

在m个电阻值(其中m为3以上的整数)中切换开关元件的外部栅极电阻的同时，反复测量所述开关元件在其开关瞬态下的栅源电压(或栅极-发射极电压)的步骤；以及

在用Rgin和Vp分别表示所述开关元件的内部栅极电阻和坪电压，并将所述外部栅极电阻的m个电阻值和相应的所述栅源电压(或栅极-发射极电压)的m个电压值分别用作Rg(k)和Vgs(k)(其中k＝1，2…m)的同时，通过进行方程Vgs(k)＝Rg(k)/(Rg(k)+Rgin)×Vp的拟合来导出所述开关元件的内部栅极电阻Rgin或坪电压Vp的步骤。

2.一种器件参数的测量方法，所述方法包括：

在m个电阻值(其中m为3以上的整数)中切换开关元件的外部栅极电阻的同时，反复测量所述开关元件在其开关瞬态下的栅源电压(或栅极-发射极电压)的步骤；

在用Rgin和Vp分别表示所述开关元件的内部栅极电阻和坪电压，并将所述外部栅极电阻的m个电阻值和相应的所述栅源电压(或栅极-发射极电压)的m个电压值分别用作Rg(k)和Vgs(k)(其中k＝1，2…m)的同时，通过进行方程1/Vgs(k)＝(Rgin/Vp)×(1/Rg(k))+(1/Vp)的拟合来将1/Vgs(k)表示为1/Rg(k)的一次函数的步骤；

从所述一次函数的截距导出所述坪电压的步骤；以及

从所述一次函数的梯度和所导出的所述坪电压导出所述内部栅极电阻的步骤。

3.一种器件参数的测量方法，所述方法包括：

通过将开关元件的外部栅极电阻设置为第一设定值并测量所述开关元件在其开关瞬态下的栅源电压(或栅极-发射极电压)来获得第一测量值的步骤；

通过将所述开关元件的外部栅极电阻设置为不同于所述第一设定值的第二设定值并测量所述开关元件在其所述开关瞬态下的所述栅源电压(或栅极-发射极电压)来获得第二测量值的步骤；以及

在用Rgin和Vp分别表示所述开关元件的内部栅极电阻和坪电压，用Rg1和Rg2分别表示所述外部栅极电阻的所述第一设定值和所述第二设定值，用Vgs1和Vgs2分别表示所述栅源电压(或栅极-发射极电压)的所述第一测量值和所述第二测量值的同时，通过求解方程Rgin＝(Vgs1-Vgs2)×Rg1×Rg2/(Rg1×Vgs2-Rg2×Vgs1)或方程Vp＝(Rg1-Rg2)×Vgs1×Vgs2/(Rg1×Vgs2-Rg2×Vgs1)来导出所述内部栅极电阻或所述坪电压的步骤。

4.一种器件参数的测量方法，所述方法包括：

导出开关元件的坪电压的步骤；

设置所述开关元件的外部栅极电阻的步骤；

测量所述开关元件在其开关瞬态下的栅源电压(或栅极-发射极电压)的步骤；以及

在用Rgin、Rg、Vgs以及Vp分别表示内部栅极电阻、所述外部栅极电阻、所述栅源电压(或栅极-发射极电压)以及所述坪电压的同时，通过求解方程Rgin＝Rg×(Vp-Vgs)/Vgs来导出所述内部栅极电阻的步骤。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，

所述开关瞬态是在所述开关元件关断时漏源电压处于变化中的状态。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，

所述方法的测量对象是具有栅极端子、漏极端子(或集电极端子)、第一源极端子(或第一发射极端子)以及第二源极端子(或第二发射极端子)的开关元件。

7.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其中，

所述方法的测量对象是具有栅极端子、漏极端子(或集电极端子)以及源极端子(或发射极端子)的开关元件。

8.根据权利要求7所述的方法，还包括：

测量所述开关元件的漏极电流(或集电极电流)并基于该测量结果消除伴随所述源极端子(或发射极端子)的电感分量的影响的步骤。