[发明专利]隔膜、阀、以及隔膜的制造方法在审
| 申请号： | 202080029645.1 | 申请日： | 2020-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113710939A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 近藤研太;稻田敏之;中田知宏;渡边一诚;中田朋贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;刘余婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔膜 以及 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种隔膜，其具备：金属制的薄板；以及薄膜层，其形成于所述薄板的一侧的面的整体。
2.根据权利要求1所述的隔膜，其特征在于，所述薄膜层的表面粗糙度的最大高度Rmax比0.1μm小。
3.根据权利要求2所述的隔膜，其特征在于，所述薄膜层的表面粗糙度的最大高度Rmax比0.02μm小。
4.根据权利要求3所述的隔膜，其特征在于，所述薄膜层的表面粗糙度的最大高度Rmax比0.01μm小。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的隔膜，其特征在于，所述薄膜层为碳膜或氟树脂膜。
6.根据权利要求5所述的隔膜，其特征在于，所述碳膜由DLC构成。
7.一种阀，其具备：
阀体，其形成有流体通路；
阀座，其设置于所述阀体；以及
权利要求1至6中任一项所述的隔膜，其通过抵接所述阀座以及离开所述阀座从而对所述流体通路进行开闭，
所述隔膜的所述薄膜层位于所述阀座侧。
8.一种隔膜的制造方法，所述隔膜具备金属制的薄板、以及薄膜层，
使所述薄板成型为球壳状，
在所述薄板的凹状面的整体形成表面粗糙度的最大高度Rmax比0.1μm小的所述薄膜层。
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