[发明专利]监测振动传感器的状况

权利要求书

1.一种用于监测振动传感器(1)的状况的方法，所述振动传感器用于确定和/或监测容纳器(2a)中的介质(2)的至少一个过程变量并具有至少一个具有机械可振荡单元(4)的传感器单元(3)，所述方法包括以下方法步骤：

-借助于激励信号(U_A)激励所述机械可振荡单元(4)使得执行机械振荡，并以接收信号(U_E)的形式接收所述机械振荡，

-确定所述接收信号(U_E)的振幅(A)的测量值和频率(f)的测量值，

-将所述振幅(A)的测量值和所述频率(f)的测量值与振幅的参考值(A_ref)和频率的参考值(f_ref)进行比较，以及

-根据比较查明状况指示符。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，查明频率和/或振幅的测量值(f、A)与参考值(f_ref、A_ref)之间的偏差，并且其中，所述状况指示符被基于所述偏差来查明。

3.根据权利要求2所述的方法，

其中，查明频率(f)和/或振幅(A)的偏差是否超过可预定的极限值。

4.根据前述权利要求中至少一项所述的方法，

其中，振幅的参考值(A_ref)和频率的参考值(f_ref)是与所述可振荡单元(4)在基本振荡模式和空气中的谐振振荡对应的振幅和频率的值。

5.根据前述权利要求中至少一项所述的方法，

其中，所述机械可振荡单元(4)在空气中被激励为所述基本振荡模式下的机械谐振振荡，并且其中，所述接收信号代表所述可振荡单元(4)在所述基本振荡模式下的谐振振荡。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的方法，

其中，所述状况指示符是：关于所述可振荡单元(4)的区域中的吸积、腐蚀或磨损的信息；关于驱动/接收单元(5)的区域中的缺陷的信息，其中借助于所述驱动/接收单元发生所述可振荡单元(4)的激励使得执行机械振荡；或者关于包括所述可振荡单元(4)的传感器(1)的电子器件(6)的缺陷的信息。

7.根据前述权利要求中至少一项所述的方法，

其中，所述可振荡单元(4)是包括膜(7)和固定到所述膜(7)的两个振荡尖齿(8a、8b)的振荡叉。

8.根据前述权利要求中至少一项所述的方法，

其中，在没有可查明的振幅(A)的测量值并且频率(f)的测量值小于参考值(f_ref)的情况下，则指示在所述振荡尖齿(8a、8b)上存在腐蚀和/或磨损和/或在所述膜(7)的区域中存在硬吸积。

9.根据权利要求1至8中至少一项所述的方法，

其中，在振幅(A)的测量值与参考值(A_ref)之间的偏差小于可预定的极限值并且频率(f)的测量值小于参考值(f_ref)的情况下，则指示在所述振荡尖齿(8a、8b)的区域中存在硬吸积和/或在所述膜(7)的区域中存在腐蚀和/或磨损。

10.根据权利要求1至8中至少一项所述的方法，

其中，在振幅(A)的测量值和频率(f)的测量值小于其参考值(f_ref、A_ref)的情况下，则指示在所述振荡尖齿(8a、8b)的区域中存在软吸积和/或在所述可振荡单元(4)的区域中存在介质残留物。