[发明专利]具有高流量和高均匀性的使用点动态浓度输送系统

权利要求书

1.一种用于分配流体的设备，该设备包括：

混合器，该混合器被配置为接收用于混合的至少两种流体，该混合器是被配置为使用槽形流体导管来组合至少两种流体的微流体混合器；

喷嘴，该喷嘴靠近该混合器定位以接收用于分配的混合流体；

第一流体供应管线，该第一流体供应管线连接到该混合器并且被配置为将第一过程流体可控地供应到该混合器中，该第一流体供应管线包括细长囊，该细长囊限定线性流体流动路径并且被配置为横向地扩展并收集该第一过程流体的充注，并且横向地收缩以将选定体积的第一过程流体输送到该混合器；

第二流体供应管线，该第二流体供应管线连接到该混合器并且被配置为将第二过程流体可控地供应到该混合器中，以将选定体积的该第二过程流体输送到该混合器；以及

控制器，该控制器被配置为相互独立地动态控制该第一过程流体和该第二过程流体的输送。

2.如权利要求1所述的设备，其中，该混合器包括用于接收该第一过程流体的一个或多个第一入口、以及用于接收该第二过程流体的一个或多个第二入口，该混合器将每个过程流体的流体流动路径转变为槽形流动路径。

3.如权利要求2所述的设备，其中，每个槽形流体导管具有是宽度尺寸至少十倍大的高度尺寸。

4.如权利要求2所述的设备，其中，该混合器包括圆柱形混合室，该圆柱形混合室接收用于每个过程流体的至少一个槽形流体导管，该混合器沿着该圆柱形混合室的圆周引导每个过程流体。

5.如权利要求4所述的设备，其中，该混合器被配置为引导每个过程流体以在该圆柱形混合室内混合，该圆柱形混合室是螺旋流。

6.如权利要求2所述的设备，其中，该混合器将这些槽形流体导管接合在一起而成为槽形混合导管。

7.如权利要求6所述的设备，其中，该槽形混合导管的大小被设置为防止湍流混合流。

8.如权利要求6所述的设备，其中，该槽形混合导管的大小被设置为提供每个过程流体的层流，使得这些过程流体通过扩散进行混合。

9.如权利要求1所述的设备，其中，该喷嘴包括从该混合器接收混合过程流体的入口、以及用于将该混合过程流体分配到衬底上的喷嘴端头。

10.如权利要求9所述的设备，其中，该混合器定位成距该喷嘴小于25毫米。

11.如权利要求9所述的设备，其中，该设备具有在混合每个过程流体的点与该喷嘴出口之间的小于0.1ml的流体导管体积。

12.如权利要求1所述的设备，其中，该混合器具有小于40mm的长度和小于20mm的宽度，并且其中，该喷嘴具有小于30mm的长度。

13.如权利要求1所述的设备，其中，这些过程流体供应管线、该混合器和该喷嘴全部对准，以提供从这些过程流体供应管线到该喷嘴出口的层流。

14.如权利要求1所述的设备，其中，该混合器定位在分配喷嘴出口的30毫米内。

15.如权利要求1所述的设备，其中，该微流体混合器包括具有小于200微米的宽度和小于15毫米的长度的槽形流体导管。

16.如权利要求1所述的设备，其中，该混合器由石英制成。

17.如权利要求1所述的设备，其中，通过组合多个盘来形成该混合器。

18.如权利要求1所述的设备，其中，该混合器的流体导管的总内部体积小于0.1ml。