[发明专利]用于监控等离子体反应的光学系统和反应器

权利要求书

1.一种等离子体发生系统，包括：

等离子体腔，用于在其内部使用微波能量产生等离子体；

检测单元，用于测量在紫外线(UV)范围和红外线(IR)范围内的所述等离子体发射的光的强度；和

控制器，用于控制所述检测单元。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，还包括：

波导件，耦合到所述等离子体腔；和

空心的圆筒体，从所述波导件壁上突出，并具有包括孔的底盖，

其中所述检测单元被布置成接收通过所述孔的所述光。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生系统，其中，所述孔的尺寸被设置成阻止所述微波能量通过所述孔泄露。

4.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，其中，所述检测单元包括：

感应器，用于将光转换为电信号；和

板，具有电路，所述感应器安装在所述板上，

其中，所述电路调节所述电信号并将所述电信号发送至所述控制器。

5.根据权利要求4所述的等离子体发生系统，还包括：

可切换的带通滤波器，设置在所述感应器的前方，并且具有一个或多个带通滤波器，所述一个或多个带通滤波器中的每一个均能够通过波长范围内的光。

6.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，还包括：

透镜，用于将所述光收集到所述检测单元上。

7.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，其中，所述检测单元包括：

第一感应器，用于测量在紫外线范围内光的强度；和

第二感应器，用于测量在红外线范围内光的强度。

8.根据权利要求7所述的等离子体发生系统，还包括：

第一带通滤波器，设置在所述第一感应器的前方，并被配置为通过在所述紫外线范围内的光；和

第二带通滤波器，设置在所述第二感应器的前方，并被配置为通过在所述红外线范围内的光。

9.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，还包括：

波导件，耦合到所述等离子体腔；和

光纤，安装在所述波导件中，并且具有用于接收所述光的一端和耦合到所述检测单元的另一端。

10.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，还包括：

波导件，用于传输通过所述波导件的所述微波能量；

内壁，设置在所述波导件内部，以限定所述等离子体腔；

适配器，安装在所述波导件上，并被配置为将气体导入到所述等离子体腔中，并使用所述气体在所述等离子体腔内部产生涡流，所述适配器具有通孔，经由等离子体处理过的气体通过所述通孔离开所述等离子体腔；和

光纤，安装在所述适配器处，并且具有用于接收所述光的一端和耦合到所述检测单元的另一端。

11.根据权利要求1所述的等离子体发生系统，还包括：

波导件，用于传输通过所述波导件的所述微波能量；

正向气流入口，安装在所述波导件上，并被配置为将气体导入到所述等离子体腔中，并使用所述气体在所述等离子体腔内部产生涡流；和

光纤，安装在所述正向气流入口中，并具有用于接收所述光的一端和耦合到所述检测单元的另一端。