[发明专利]由紫外光谱法测定含卤素氟化物气体所含的氟气浓度的测定方法在审
| 申请号： | 202080032718.2 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113785190A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 铃木淳 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王潇悦;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 光谱 测定 卤素 氟化物 气体 氟气 浓度 方法 | ||
1.一种氟气浓度的测定方法，对含卤素氟化物气体照射小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值WX相对于波长为285nm的紫外光强度WF之比WX/WF在1/10以下的紫外光，测定285nm波长的吸光度，从而得到含卤素氟化物气体所含的氟气浓度。
2.根据权利要求1所述的氟气浓度的测定方法，使用抑制来自光源的波长小于250nm的紫外光照射的单元，对所述含卤素氟化物气体照射波长为250nm以上的紫外光。
3.根据权利要求1或2所述的氟气浓度的测定方法，所述单元使从所述光源照向含卤素氟化物气体的紫外光经由滤光器来照射，该滤光器将50％以上的波长小于250nm的紫外光遮断，并使90％以上的波长为280～290nm的紫外光透过。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟气浓度的测定方法，所述卤素氟化物是选自三氟化氯、五氟化溴、七氟化碘、三氟化溴和五氟化碘中的任一种气体。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的氟气浓度的测定方法，所述卤素氟化物是七氟化碘。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的氟气浓度的测定方法，所述卤素氟化物是五氟化溴，所述小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值WX是小于225nm的波长范围内的紫外光强度的最大值。
7.根据权利要求1～4中任一项所述的氟气浓度的测定方法，所述卤素氟化物是三氟化氯，所述小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值WX是小于215nm的波长范围内的紫外光强度的最大值。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的氟气浓度的测定方法，从向所述含卤素氟化物气体照射所述紫外光而测定出的吸收光谱中减去向参考气体照射所述紫外光而测定出的吸收光谱，根据得到的吸收光谱的285nm波长的吸光度而得到氟气浓度。
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