[发明专利]等离子体源/偏置功率输送的高速同步

权利要求书

1.一种射频RF生成器，包括：

RF电源；以及

耦接到所述RF电源的RF功率控制器，所述RF功率控制器产生控制信号以改变从所述RF电源到非线性负载的第一RF输出，所述RF功率控制器被配置成在施加到所述非线性负载的第二RF输出的第一预定部分期间以第一预定方式控制所述第一RF输出和致动器中的至少一个，

其中所述第一预定方式包括控制所述第一RF输出的功率、所述第一RF输出的频率以及与所述第一RF输出相关联的匹配网络致动器中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述第一RF输出是施加到所述非线性负载的源RF输出信号，并且所述第二RF输出是施加到所述非线性负载的偏置RF输出信号。

3.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器接收根据所述第二RF输出而改变的同步信号，并且其中所述同步信号指示所述第二RF输出的所述第一预定部分。

4.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述第一预定部分包括所述第二RF输出的负电压部分。

5.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器在所述第二RF输出的所述第一预定部分期间增加所述第一RF输出的所述功率。

6.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器在施加到所述非线性负载的所述第二RF输出的所述第一预定部分之外的期间关闭所述RF电源。

7.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器按照根据触发信号而改变的时序对所述RF输出的所述功率施加功率调整，其中所述触发信号指示所述第二RF输出的相对位置。

8.根据权利要求7所述的RF生成器，其中所述功率调整包括所述RF功率控制器根据所述触发信号以预定顺序和时序施加到所述RF输出的多个功率调整。

9.根据权利要求7所述的RF生成器，其中所述功率调整根据由所述RF电源输送的功率而改变。

10.根据权利要求7所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器进一步包括播放模块，所述播放模块被配置成检测所述触发信号，所述播放模块启动将所述功率调整到RF输出的引入。

11.根据权利要求10所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器进一步包括查找表，所述查找表被配置成存储由所述播放模块引入的所述功率调整。

12.根据权利要求11所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器进一步包括更新模块，所述更新模块被配置成根据所述RF输出的电气特性来更新所述功率调整。

13.根据权利要求12所述的RF生成器，其中所述电气特性是由所述RF电源输送到所述RF生成器的功率。

14.根据权利要求7所述的RF生成器，其中所述触发信号是周期性的、非周期性的、与预定事件同步的或者与预定事件异步的。

15.根据权利要求1所述的RF生成器，其中所述RF功率控制器按照根据触发信号而改变的时序，通过将频率偏移引入所述RF输出来控制所述频率，其中，所述触发信号指示所述第二RF输出的相对位置。

16.根据权利要求15所述的RF生成器，其中所述频率偏移包括所述RF功率控制器根据所述触发信号以预定顺序和时序施加到所述RF输出的多个频率。

17.根据权利要求15所述的RF生成器，其中所述频率偏移根据由所述第二RF输出引入的互调失真而改变。