[发明专利]电子发射元件以及电子显微镜在审
| 申请号： | 202080033885.9 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113795902A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 村上胜久;长尾昌善 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/073;H01J9/02;H01J1/312 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 发射 元件 以及 电子显微镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子发射元件，其特征在于，
所述电子发射元件具备：第一电极、由绝缘膜构成的电子加速层以及第二电极依次层叠而成的层叠结构，
所述第二电极为供电子透过、从表面发射电子的电极，
发射出的电子的能量散度为100meV以上且600meV以下。
2.根据权利要求1所述的电子发射元件，其特征在于，
所述第二电极为1层以上且20层以下的石墨烯。
3.根据权利要求1或2所述的电子发射元件，其特征在于，
所述绝缘膜为六方晶系的氮化硼。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件，其特征在于，
所述第一电极为半导体。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件，其特征在于，
所述第一电极为磁性体。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件，其特征在于，
所述第一电极具有量子阱结构。
7.一种电子显微镜，其特征在于，
所述电子显微镜具备权利要求1至6中任一项所述的电子发射元件，从该电子发射元件向真空中或气体中发射电子。
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