[发明专利]电子发射元件以及电子显微镜在审

专利信息
申请号: 202080033885.9 申请日: 2020-03-23
公开(公告)号: CN113795902A 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 村上胜久;长尾昌善 申请(专利权)人: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
主分类号: H01J37/06 分类号: H01J37/06;H01J37/073;H01J9/02;H01J1/312
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 吕琳;朴秀玉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电子 发射 元件 以及 电子显微镜
【权利要求书】:

1.一种电子发射元件,其特征在于,

所述电子发射元件具备:第一电极、由绝缘膜构成的电子加速层以及第二电极依次层叠而成的层叠结构,

所述第二电极为供电子透过、从表面发射电子的电极,

发射出的电子的能量散度为100meV以上且600meV以下。

2.根据权利要求1所述的电子发射元件,其特征在于,

所述第二电极为1层以上且20层以下的石墨烯。

3.根据权利要求1或2所述的电子发射元件,其特征在于,

所述绝缘膜为六方晶系的氮化硼。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件,其特征在于,

所述第一电极为半导体。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件,其特征在于,

所述第一电极为磁性体。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的电子发射元件,其特征在于,

所述第一电极具有量子阱结构。

7.一种电子显微镜,其特征在于,

所述电子显微镜具备权利要求1至6中任一项所述的电子发射元件,从该电子发射元件向真空中或气体中发射电子。

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