[发明专利]用于在具有旋转叶片与气体注入的固定空腔室中涂覆粒子的反应器

权利要求书

1.一种涂覆粒子的反应器，包括：

固定的真空腔室，所述固定的真空腔室用于保持待涂覆粒子的床，所述腔室具有下部和上部，所述下部形成半圆柱体；

真空端口，所述真空端口位于所述腔室的所述上部中；

叶片组件，包括

可旋转的驱动轴，所述可旋转的驱动轴沿着所述半圆柱体的轴向轴线延伸穿过所述腔室，

多个叶片，所述多个叶片从所述驱动轴径向延伸，使得由所述电机驱动的所述驱动轴的旋转使所述多个叶片绕所述驱动轴公转；以及

电机，所述电机用于使所述驱动轴旋转；和

化学物质输送系统，所述化学物质输送系统用于输送第一流体；

第一气体注入组件，所述第一气体注入组件从所述化学物质输送系统接收所述第一流体，并且所述第一气体注入组件具有孔，所述孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入所述腔室的所述下部，并使得所述第一反应物或前驱物气体流以实质上与所述半圆柱体的弯曲内表面相切的方式被注入所述腔室。

2.根据权利要求1所述的反应器，其中所述第一气体注入组件被配置为在垂直于所述轴向轴线的方向上注入所述第一反应物或前驱物气体。

3.根据权利要求1所述的反应器，其中所述第一气体注入组件包括在平行于所述轴向轴线的第一列中延伸的第一多个孔，并且其中所述第一气体注入组件被配置为经由所述第一多个孔注入所述第一反应物或前驱物气体。

4.根据权利要求3所述的反应器，其中所述第一多个孔位于所述腔室的所述下部的下四分之一中。

5.根据权利要求3所述的反应器，其中所述化学物质输送系统被配置为输送第二流体，且所述反应器进一步包括第二气体注入组件，所述第二气体注入组件从所述化学物质输送系统接收所述第二流体，并且所述第二气体注入组件具有孔，所述孔被配置为将第二反应物或前驱物气体注入所述腔室的所述下部，并使得将所述第二反应物或前驱物气体以实质上与所述半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。

6.根据权利要求5所述的反应器，其中所述第二气体注入组件包括在平行于所述轴向轴线的第二列中延伸的第二多个孔，并且其中所述第二气体注入组件被配置为经由所述第二多个孔注入所述第二反应物或前驱物气体。

7.根据权利要求3所述的反应器，其中所述第一气体注入组件包括歧管和从所述歧管延伸到所述第一多个喷嘴的多个管道，并且所述反应器包括在所述歧管和所述多个管道之间的限制部。

8.一种涂覆粒子的反应器，包括：

固定的真空腔室，所述固定的真空腔室用于保持待涂覆粒子的床，所述腔室具有下部和上部，所述下部形成半圆柱体；

真空端口，所述真空端口位于所述腔室的所述上部中；

叶片组件，包括

可旋转的驱动轴，所述可旋转的驱动轴沿着所述半圆柱体的轴向轴线延伸穿过所述腔室，

多个叶片，所述多个叶片从所述驱动轴径向延伸，使得由所述电机驱动的所述驱动轴的旋转使所述多个叶片绕所述驱动轴公转；以及

电机，所述电机用于使所述驱动轴旋转；和

化学物质输送系统，所述化学物质输送系统用于输送包括至少第一液体的多种流体；

第一气体注入组件，所述第一气体注入组件从所述化学物质输送系统接收所述第一液体，所述第一气体注入组件包含蒸发器、岐管以及多个管道，所述蒸发器用于将所述第一液体转变成第一反应物或前驱物气体，所述岐管用于从所述蒸发器接收所述第一反应物或前驱物气体，所述多个管道从所述岐管通向位于所述腔室的所述下部中的多个孔。

9.根据权利要求8所述的反应器，其中所述蒸发器、歧管和通道形成为一体。

10.根据权利要求8所述的反应器，包括连接所述化学物质输送系统的通道，以从所述化学物质输送系统输送惰性气体到所述歧管。