[发明专利]槽加工装置以及槽加工方法在审
| 申请号： | 202080035313.4 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113825588A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 滨村秀行 | 申请（专利权）人： | 日本制铁株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/064;B23K26/082;G02B26/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲天佐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 装置 以及 方法 | ||
1.一种槽加工装置，其通过激光束在对象物的表面上形成槽，其特征在于，所述槽加工装置具备：
光源装置，其输出所述激光束；
多面镜，其反射从所述光源装置输出的所述激光束；以及
光学系统，其设于从所述多面镜反射的所述激光束的光路，所述光学系统具有：聚光部，其使从所述多面镜的一面反射的所述激光束通过并在所述对象物的表面上聚光；以及非聚光部，其设于所述聚光部的外侧，使从所述多面镜的跨越邻接的两个面的角部反射的所述激光束通过且不在所述对象物的表面上聚光。
2.根据权利要求1所述的槽加工装置，其特征在于，
所述非聚光部不具有焦点。
3.根据权利要求1所述的槽加工装置，其特征在于，
所述非聚光部使从所述多面镜的所述角部反射的所述激光束发散。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的槽加工装置，其特征在于，
在通过了所述非聚光部的所述激光束的光路上具备遮挡板。
5.一种槽加工方法，通过激光束在对象物的表面上形成槽，其特征在于，所述槽加工方法具备：
输出步骤，利用光源装置输出所述激光束；
反射步骤，利用多面镜反射从所述光源装置输出的所述激光束；
聚光部通过步骤，使从所述多面镜的一面反射的所述激光束通过聚光部并在所述对象物的表面上聚光；以及
非聚光部通过步骤，使从所述多面镜的跨越邻接的两个面的角部反射的所述激光束通过设于所述聚光部的外侧的非聚光部且不在所述对象物的表面上聚光。
6.根据权利要求5所述的槽加工方法，其特征在于，
在所述非聚光部通过步骤中，所述非聚光部不具有焦点。
7.根据权利要求5所述的槽加工方法，其特征在于，
在所述非聚光部通过步骤中，在所述非聚光部中使所述激光束发散。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的槽加工方法，其特征在于，
还具备如下遮挡步骤：使用设于所述激光束的光路的遮挡板遮挡在所述非聚光部通过步骤中通过了所述非聚光部的所述激光束。
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