[发明专利]槽加工装置以及槽加工方法

权利要求书

1.一种槽加工装置，其通过激光束在对象物的表面上形成槽，其特征在于，所述槽加工装置具备：

光源装置，其输出所述激光束；

多面镜，其反射从所述光源装置输出的所述激光束；

聚光光学系统，其设于由所述多面镜反射的所述激光束的光路上，对所述激光束进行聚光；以及

遮挡板，其在所述聚光光学系统与所述对象物之间设于将经由所述聚光光学系统而聚光的所述激光束的一部分遮挡的位置，遮挡所述激光束的一部分，

经由所述聚光光学系统而聚光的所述激光束中的未被所述遮挡板遮挡的所述激光束的一部分在所述激光束的焦点处在所述对象物的表面上形成槽，

所述遮挡板设于比所述焦点靠所述聚光光学系统侧，相对于所述对象物的表面转动以遮挡不形成所述槽的所述激光束。

2.根据权利要求1所述的槽加工装置，其特征在于，

在将所述遮挡板相对于所述对象物的表面的角度设为ψ，将作为所述激光束收敛于所述多面镜的一个平面镜的最大角度的临界角设为θc(°)时，

所述遮挡板的角度ψ在2θc＜ψ≤90(°)的范围内倾斜。

3.根据权利要求2所述的槽加工装置，其特征在于，

在将从所述多面镜的旋转轴向所述多面镜的平面镜下引垂线的位置设为基准位置时，将所述多面镜中邻接的两个平面镜的边界与所述基准位置所成的角度设为θ0(°)，

在所述遮挡板以角度ψ倾斜时，将所述多面镜的旋转角度为θ0(°)时由所述多面镜以2θ0(°)的角度反射的所述激光束照射到所述遮挡板的位置设为点P0，

在所述遮挡板以所述角度ψ倾斜时，将所述多面镜的旋转角度为θc(°)时由所述多面镜以2θc(°)的角度反射的所述激光束照射到所述遮挡板的位置设为点P，

将所述点P与所述点P0的高度之差设为Lp0，

将从所述聚光光学系统到所述点P的高度的距离设为L2，

则满足Lp0＜L2。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的槽加工装置，其特征在于，

在利用所述多面镜扫描所述激光束的扫描方向上具备调整所述遮挡板的位置的位置调整部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的槽加工装置，其特征在于，

具备壳体，该壳体在下部配置所述遮挡板，

所述壳体具有位于由所述聚光光学系统聚光的所述激光束的光路上的上部开口部，

在所述上部开口部安装有将所述激光束吸收或者不反射而是透过的无色透明的窗板。

6.一种槽加工方法，通过激光束在对象物的表面上形成槽，其特征在于，所述槽加工方法具备：

输出步骤，利用光源装置输出所述激光束；

反射步骤，利用多面镜使从所述光源装置输出的所述激光束反射；

聚光步骤，使用设于由所述多面镜反射的所述激光束的光路上的聚光光学系统，使所述激光束在所述对象物的表面上聚光；以及

遮挡步骤，使用在所述聚光光学系统与所述对象物之间设于将经由所述聚光光学系统而聚光的所述激光束的一部分遮挡的位置的遮挡板，遮挡所述激光束的一部分，

经由所述聚光光学系统而聚光的所述激光束中的未被所述遮挡板遮挡的所述激光束的一部分在所述激光束的焦点处在所述对象物的表面上形成槽，

在所述遮挡步骤中设置所述遮挡板，该遮挡板设于比所述焦点靠所述聚光光学系统侧，且相对于所述对象物的表面转动，以遮挡不形成所述槽的所述激光束。

7.根据权利要求6所述的槽加工方法，其特征在于，

在所述遮挡步骤中，在将所述遮挡板相对于所述对象物的表面的角度设为ψ，将作为所述激光束收敛于所述多面镜的一个平面镜的最大角度的临界角设为θc(°)时，

使所述遮挡板的角度ψ在2θc＜ψ≤90(°)的范围内倾斜。