[发明专利]压电振动板及压电振动器件

说明书

晶体振动片(10)具备振动部(11)、包围着该振动部(11)的外周的外框部(12)、将振动部(11)与外框部(12)连结的保持部(13)，在振动部(11)的一个主面上形成有第一激励电极(111)，在振动部(11)的另一个主面上形成有第二激励电极(112)，第二激励电极(112)具有相互平行的平行边(112e、112g)，在第一激励电极(111)上设有俯视时相对第二激励电极(112)比平行边(112e、112g)之间的部分更向外侧突出的突出部(111c、111d)，突出部(111c、111d)具有俯视时不平行于平行边(112e、112g)的外缘形状。基于该结构，在由保持部将振动部与外框部连结的带框体的压电振动板、及具备这样的压电振动板的压电振动器件中，能够减少乱真而提高电气特性。

技术领域

本发明涉及压电振动板及压电振动器件。

背景技术

例如，具备AT切割晶体振动片等通过厚度剪切振动而动作的压电振动板的压电振动器件(例如压电振子、压电振荡器等)中，在压电振动板的正面和反面相向地形成有一对激励电极，该激励电极上施加有交流电压。近年来，随着这样的压电振动器件的高频化(例如150MHz左右的频率)的进展，在压电振动器件的主振动近傍有可能发生乱真，从而有可能给压电振动器件的特性带来不良影响。现有技术中，已知可通过将压电振动板的一对激励电极错位配置来减少乱真(例如，参照专利文献1)。

另外，现有技术中，已知有具备振动部、包围着该振动部的外周的外框部、及将振动部与外框部连结的保持部的压电振动板(例如，参照专利文献1)。这样的由保持部将振动部与外框部连结的所谓带框体的压电振动板中，一对激励电极被构成为彼此大致相同的形状(主要为矩形)，并被配置在俯视时基本一致的位置上，因而，减少乱真的对策仍然不够充分。

【专利文献1】：日本专利第5104867号公报

【专利文献2】：日本特开2010－252051号公报

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于，在由保持部将振动部与外框部连结的带框体的压电振动板、以及具备这样的压电振动板的压电振动器件中，减少乱真而提高电气特性。

作为解决上述技术问题的技术方案，本发明采用以下结构。即，本发明是通过厚度剪切振动而动作的压电振动板，其特征在于：具备振动部、包围着该振动部的外周的外框部、及将所述振动部与所述外框部连结的保持部，在所述振动部与所述外框部之间，设置有通过对该压电振动板进行切取而形成的切取部，在所述振动部的一个主面上形成有第一激励电极，在所述振动部的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极，在所述第一激励电极和所述第二激励电极中的一方的激励电极上，形成有至少一个俯视时突出于另一方的激励电极的突出部，所述另一方的激励电极具有至少一对相互平行的平行边，所述突出部被构成为俯视时比所述平行边之间的部分更向外侧突出，并具有俯视时不平行于所述平行边的外缘形状。

基于上述结构，由于一方的激励电极的突出部具有俯视时不平行于另一方的激励电极的平行边的外缘形状，所以能够减少起因于一方的激励电极的外缘形状的乱真。因此，能够在由保持部将振动部与外框部连结的带框体的压电振动板中，减少乱真而提高电气特性。特别是，由保持部将振动部与外框部连结的带框体的压电振动板中，由于在振动部形成后的工序中不在振动部上形成直接机电连接的连接点，所以不会发生因形成该连接点而引起的乱真。换言之，既能减少上述激励电极引起的乱真，又能抑制由振动部形成后的工序引发的进一步的乱真。另外，在这样的带有框体的压电振动板的振动部，能够不考虑上述连接点地形成激励电极，因而，激励电极的设计自由度提高，电极的大小和位置容易调整。特别是，通过将激励电极形成得较大，能够提高电气特性；通过将振动部的中心配置为俯视时与激励电极的中心基本一致，能够抑制成为乱真的非对称振动模的发生。