[发明专利]用于调制光源波长的设备和方法

权利要求书

1.一种激光系统，包括：

致动器，具有第一状态和第二状态，在所述第一状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第一波长的一个或多个激光辐射脉冲的第一脉冲串，在所述第二状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第二波长的一个或多个激光辐射脉冲的第二脉冲串，所述第二波长不同于所述第一波长；以及

致动控制器，被布置为向所述致动器提供信号以使所述致动器在脉冲串之间呈现第三状态，所述第三状态介于所述第一状态和所述第二状态。

2.根据权利要求1所述的激光系统，其中所述第一状态是第一位置，所述第二状态是第二位置，并且所述第三状态是在所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置。

3.一种激光系统，包括：

致动器，具有第一状态和第二状态，在所述第一状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第一波长的一个或多个激光辐射脉冲的第一脉冲串，在所述第二状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第二波长的一个或多个激光辐射脉冲的第二脉冲串，所述第二波长不同于所述第一波长；以及

致动控制器，被布置为向所述致动器提供信号以使所述致动器从所述第一状态转变到所述第二状态，所述致动控制器包括被布置为计算针对使所述致动器从所述第一状态转变到所述第二状态的所述信号的最佳控制波形的模块，所述致动控制器使所述致动器在所述最佳控制波形的控制下沿着轨迹从所述第一状态转变到所述第二状态。

4.根据权利要求3所述的激光系统，其中所述模块被适配为使用具有约束的二次规划来计算所述最佳控制波形。

5.根据权利要求3所述的激光系统，其中所述模块被适配为使用动态规划来计算所述最佳控制波形。

6.根据权利要求3所述的激光系统，其中所述模块被适配为使用模型反演前馈控制来计算所述最佳控制波形。

7.根据权利要求3所述的激光系统，其中所述模块被适配为使用迭代学习控制来计算所述最佳控制波形。

8.根据权利要求4所述的激光系统，其中所述模块还包括：用于针对多个重复速率中的每个重复速率存储至少一个最佳控制参数的部件。

9.根据权利要求8所述的激光系统，其中用于针对多个重复速率中的每个重复速率存储至少一个最佳控制参数的所述部件包括预填充的查找表。

10.根据权利要求8所述的激光系统，其中用于针对多个重复速率中的每个重复速率存储至少一个最佳控制参数的所述部件包括现场可编程门阵列。

11.一种控制激光系统的方法，所述方法包括以下步骤：

将致动器放置在第一状态，在所述第一状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第一波长的一个或多个激光辐射脉冲的第一脉冲串；以及

将所述致动器放置在第二状态，在所述第二状态中所述致动器使所述激光系统生成具有第二波长的一个或多个激光辐射脉冲的第二脉冲串，所述第二波长不同于所述第一波长；

所述方法还包括：将所述致动器放置在第三状态的第三步骤，所述第三步骤在将所述致动器放置在所述第一状态与将所述致动器放置在所述第二状态的步骤之间，所述第三状态介于所述第一状态和所述第二状态。

12.根据权利要求11所述的控制激光系统的方法，其中所述第一状态是第一位置，所述第二状态是第二位置，并且所述第三状态是在所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置。