[发明专利]便携式探针卡组件

权利要求书

1.一种用于测试被测器件的测试组件，包括：

底板，其包括测试站点；

顶板；和

探针卡，所述探针卡固定到所述顶板并延伸穿过所述顶板以接触设置在所述测试站点上的被测器件，

所述底板包括挠性环、设置在挠性环中的插孔、孔

所述测试站点设置在所述挠性环的周边内，并且所述测试站点被配置来支撑所述被测器件，

所述顶板包括可调节的刚性挡块和销，

紧固件，被配置为可插入通过所述可调节的刚性挡块并与所述孔对齐，以提供Z定位和控制，

所述销均可插入所述插孔中，插入时，所述销和所述插孔提供X和Y控制，

所述挠性环被配置来提供Z定位和控制，以及

所述探针卡被配置来将所述被测器件推靠在所述底板上。

2.根据权利要求1所述的测试组件，其中，所述销是锥形的。

3.根据权利要求1所述的测试组件，其中，所述销被配置为提供旋转定位和控制。

4.根据权利要求1所述的测试组件，还包括清洁板和清洁垫。

5.根据权利要求4所述的测试组件，其中，所述清洁板包括挠性环，所述清洁垫在所述挠性环的周边内。

6.根据权利要求4所述的测试组件，其中，所述清洁垫包括碳化钨。

7.根据权利要求1所述的测试组件，其中，所述测试站点包括刚性站点挡块和柔性保持器，以允许所述被测器件在所述测试站点处保持就位。

8.根据权利要求1所述的测试组件，其中，所述底板包括被配置为接收所述可调节的刚性挡块的垫。

9.根据权利要求1所述的测试组件，其中，所述顶板包括可调节的锁，所述可调节的锁被配置为将所述刚性挡块固定在Z位置中的期望位置。

10.一种为被测器件组装测试组件的方法，包括：

通过将包括探针卡的所述顶板安装到所述底板上来组装如权利要求1所述的测试组件；和

拧紧紧固件以固定所述测试组件。