[发明专利]用于确定与期望图案相关联的随机变化的方法

权利要求书

1.一种用于确定与待印制于衬底上的图案相关联的随机边缘放置误差的方法，所述方法包括：

获得所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，其中在未在所述多个图像之间执行衬底对准的情况下经由量测工具采集所述多个图像；

生成至少两个数据，包括：(i)使用所述多个图像的第一图像集合生成与所述图案相关联的第一数据，和(ii)使用所述多个图像的第二图像集合生成与所述图案相关联的第二数据，其中所述第一图像集合和所述第二图像集合包括至少一个不同的图像；以及

使用在所述限定部位处的、与所述图案相关联的所述第一数据和所述第二数据来确定与所述图案相关联的所述随机边缘放置误差。

2.根据权利要求1所述的方法，其中由所述量测工具使用单个量测选配方案来采集所述多个图像中的每个图像，其中所述量测选配方案包括与所述衬底上的所述限定部位相关联的视场和定位信息。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：通过使用所述量测工具采集所述多个图像，其中所述限定部位的所述多个图像的采集包括：

使所述衬底与所述量测工具对准；以及

在所述衬底的第一管芯中采集所述图案在所述限定部位处的所述多个图像中的每个图像，而未在所述衬底的第二管芯中采集图像。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图像集合和所述第二图像集合包括与所述限定部位相关联的所述多个图像中的所有不同的图像。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：在采集在所述衬底上的所述限定部位处的所述多个图像之后，采集在所述衬底上的第二部位处的第二多个图像。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据和所述第二数据具有大约1像素大小的放置误差，所述放置误差与所述量测工具在所述衬底上的所述限定部位处的定位相关联。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据和所述第二数据具有小于1μs的时滞差，所述时滞差与由所述量测工具所采集的给定图像的像素的停留时间相关联。

8.根据权利要求1所述的方法，其中在由所述量测工具进行的测量期间，在不重新聚焦所述量测工具的情况下、和/或在不重新对准所述衬底的情况下生成所述第一数据和所述第二数据。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据和所述第二数据的生成包括：

选择所述多个图像的所述第一图像集合和所述多个图像中的不同于所述第一图像集合的所述第二图像集合；

使所述第一图像集合叠置；

使用经叠置的所述第一图像集合来确定边缘放置误差的值以生成所述第一数据；

使第二图像集合叠置；以及

使用经叠置的所述第二图像集合来确定边缘放置误差的值以生成所述第二数据。

10.根据权利要求9所述的方法，其中确定边缘放置误差的值包括：

限定在所述图案的轮廓周围的多个参考点；

限定多个切线，每个切线在所述图案的轮廓的法线方向上穿过所述多个参考点中的给定参考点；

确定给定切线与所述图案在所述多个图像中的给定图像中的相交点；以及

测量所述相交点与所述给定参考点之间的距离，其中所述边缘放置误差包括所测量的、与所述多个图像中的每个图像相关联的距离。

11.根据权利要求1所述的方法，其中确定随机边缘放置误差包括经由分解算法：

使用所述第一数据、所述第二数据和跨越所述衬底的边缘放置误差的值来提取与所述量测工具相关联的第一变化；以及

基于所述第一数据、所述第二数据和所述第一变化来提取与所述图案相关联的第二变化。