[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法

权利要求书

1.一种超纯水制造系统，具有：

超纯水供给管线，与使用点连接，向所述使用点供给超纯水；以及

第一离子交换装置、膜过滤装置和第二离子交换装置，在所述超纯水供给管线上串联配置，在所述第二离子交换装置中填充有离子交换树脂，

所述膜过滤装置配置在所述第一离子交换装置与所述第二离子交换装置之间，从所述膜过滤装置流出的超纯水的至少一部分在被供给到所述使用点之前由所述第二离子交换装置进行处理，

所述离子交换树脂被以SV300以上预先通入纯水，直至从该离子交换树脂流出的粒径20nm以上的微粒数小于0.1个/ml。

2.根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其中，

所述超纯水供给管线具有：主管线，配置有所述第一离子交换装置及第二离子交换装置和所述膜过滤装置；以及分支管线，从所述主管线分支并与所述使用点连接。

3.根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其中，

所述超纯水供给管线具有：主管线，配置有所述第一离子交换装置和所述膜过滤装置；以及分支管线，从所述主管线分支并与所述使用点连接，所述第二离子交换装置配置在所述分支管线上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超纯水制造系统，其中，

在所述第二离子交换装置与所述使用点之间未设置其他膜过滤装置。

5.根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其中，

所述离子交换树脂是凝胶型的离子交换树脂。

6.根据权利要求5所述的超纯水制造系统，其中，

所述第二离子交换装置在所述离子交换树脂的填充部的上方具有被处理水的入口部，在所述填充部的下方具有处理水的出口部。

7.根据权利要求5或6所述的超纯水制造系统，其中，

所述第二离子交换装置为非再生式的离子交换装置。

8.根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其中，

所述离子交换树脂以层高10cm以上填充。

9.一种超纯水制造方法，使用了超纯水制造系统，所述超纯水制造系统具有：超纯水供给管线，与使用点连接，向所述使用点供给超纯水；以及第一离子交换装置、膜过滤装置和第二离子交换装置，在所述超纯水供给管线上串联配置，所述膜过滤装置配置在所述第一离子交换装置与所述第二离子交换装置之间，其中，

在所述第二离子交换装置中以层高10cm以上填充有平均粒径500～800μm的离子交换树脂，所述离子交换树脂在填充到所述第二离子交换装置之前被以SV300以上通入纯水而清洗至从该离子交换树脂流出的粒径20nm以上的微粒子数小于0.1个/ml，

所述超纯水制造方法具有如下处理：

在将由所述膜过滤装置过滤后的超纯水的至少一部分供给到所述使用点之前，利用所述第二离子交换装置进行处理。

10.根据权利要求9所述的超纯水制造方法，其中，

所述第二离子交换装置具有凝胶型的离子交换树脂，

所述超纯水制造方法具有如下处理：

在将由所述第二离子交换装置处理后的超纯水供给到所述使用点之前，对所述离子交换树脂流通超纯水，直到所述第二离子交换装置的出口处的TOC减少量成为0.5ppb以下。

11.根据权利要求9或10所述的超纯水制造方法，其中，

所述第二离子交换装置在出口侧的微粒子浓度超过给定值时进行更换。