[发明专利]层叠型静电致动器

权利要求书

1.一种层叠型静电致动器，由具有第一绝缘层、导体层、第二绝缘层的3层构造的多个电极膜构成，所述层叠型静电致动器被构成为：

各电极膜在所述电极膜的所述第一绝缘层上具有以能够与其它电极膜接合的方式进行了表面加工的接合区域P、和不与所述其它电极膜接合的非接合区域Q，所述接合区域P和所述非接合区域Q的边界C具有能够使用至少一个以上的有限值的曲率半径来定义的波状图案，

以第一电极膜的所述接合区域P和紧接在所述第一电极膜的下方的第二电极膜的所述接合区域P在层叠方向上相互不重叠的方式，并且以所述第一电极膜的边界C的波状图案的轴线与所述第二电极膜的边界C的波状图案的轴线平行的方式进行层叠配置，所述第一电极膜和所述第二电极膜在所述第二电极膜的所述第一绝缘层的所述接合区域P接合，

由此，从层叠方向观察，所述多个电极膜具有两个所述电极膜接合的电极部和未接合的铰链部，

在因外力而在层叠方向上被拉伸时，所述铰链部弹性变形，所述电极部彼此分离而在层叠方向上伸长，

在对所述多个电极膜的所述导体层间施加电压时，分离的所述电极部彼此因静电力而收缩，而在层叠方向上收缩。

2.一种层叠型静电致动器，由具有第一绝缘层、导体层、第二绝缘层的3层构造的多个电极膜构成，所述层叠型静电致动器被构成为：

各电极膜在所述电极膜的所述第一绝缘层上具有以能够与其它电极膜接合的方式进行了表面加工的接合区域P、和不与所述其它电极膜接合的非接合区域Q，所述接合区域P在所述第一绝缘层上形成为相互分离的秤砣连接图样状，

以第一电极膜的所述第一绝缘层上的秤砣图样和紧接在所述第一电极膜的下方的第二电极膜的所述第一绝缘层上的秤砣图样在层叠方向上相互不重叠的方式，并且以所述秤砣图样相互旋转了90度的朝向进行层叠配置，所述第一电极膜和所述第二电极膜在所述第二电极膜的所述第一绝缘层的所述接合区域P接合，

由此，从层叠方向观察，所述多个电极膜具有两个所述电极膜接合的电极部和未接合的铰链部，

在因外力而在层叠方向上被拉伸时，所述铰链部弹性变形，电极部彼此分离而在层叠方向上伸长，

在对所述多个电极膜的所述导体层间施加电压时，分离的电极部彼此因静电力而收缩，而在层叠方向上收缩。

3.根据权利要求1或2所述的层叠型静电致动器，其中，

各电极膜的所述铰链部形成为外周的曲率半径R_e、内周的曲率半径R_i的圆弧状区域，

所述圆弧状区域具有按所述圆弧状区域的每个开角θ_OA改变凸的朝向来相连而成的形状。

4.根据权利要求1所述的层叠型静电致动器，其中，

各电极膜的所述铰链部形成为外周的曲率半径R_e、内周的曲率半径R_i的圆弧状区域，

所述圆弧状区域的开角θ_OA为180度以上。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的层叠型静电致动器，其中，

若将所述层叠型静电致动器的伸缩方向上的所述铰链部的另一个边界C相对于一个边界C的移动量定义为所述铰链部的位移，将与根据致动器的产生力规定的相对的所述电极部间的最大允许距离对应的所述铰链部的位移定义为最大位移，则所述铰链部的最大位移为所述电极膜的厚度的倍以上。

6.根据权利要求1或2所述的层叠型静电致动器，其中，

所述铰链部具有均匀的宽度。

7.根据权利要求6所述的层叠型静电致动器，其中，

所述铰链部的所述宽度与所述电极膜的厚度之比为5以上。

8.根据权利要求1或2所述的层叠型静电致动器，其中，所述层叠型静电致动器被构成为：

在两个所述电极膜之间形成所述铰链部的空间与外部之间流体连通，

在所述层叠型静电致动器伸缩时，在所述空间与外部之间能够进行流体的流出流入。