[发明专利]具有多层构造的静电致动器在审
| 申请号： | 202080039079.2 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113906665A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 实吉敬二;伊藤诚;泉谷辉 | 申请（专利权）人： | STRAWB股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00;B32B33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 胡乃锐 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 多层 构造 静电 致动器 | ||
【权利要求书】：
1.一种静电致动器，具有将多个电极膜层叠结合的构造，其中，
各电极膜具有弹性层、绝缘层、导体层、绝缘层、弹性层的5层构造，
构成所述弹性层的材料的杨氏模量比构成所述绝缘层的材料的杨氏模量小。
2.一种静电致动器，具有将多个电极膜层叠结合的构造，其中，
各电极膜具有弹性层、绝缘层、导体层、绝缘层、弹性层的5层构造，
构成所述弹性层的材料的弹簧常数伴随着所述电极膜在层叠方向上伸长而增加。
3.根据权利要求1或2所述的静电致动器，其中，
在相邻的两个所述电极膜中，所述电极膜的所述弹性层间通过粘接或者共价键合或弹性体粘着力而连接。
4.一种静电致动器，具有在导体层的两面配置有绝缘层的电极层经由弹性层而层叠结合的构造，其中，
构成所述弹性层的材料的杨氏模量比构成所述绝缘层的材料的杨氏模量小，或者
构成所述弹性层的材料的弹簧常数伴随着所述静电致动器在层叠方向上伸长而增加。
5.根据权利要求4所述的静电致动器，其中，
所述弹性层是具有在所述电极层的面方向上相互分离的多个柱的构造体。
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