[发明专利]工艺监控方法、数据处理设备、计算机可读介质以及工艺监控设备

权利要求书

1.一种用于在机械的接合方法中进行工艺监控的方法，其包括：

在进行机械的接合方法时接收(S100)多个测量值f_i(x_i)，其中，所述测量值分别使至少两个工艺参数f_i、x_i彼此相关联，其中，i＝1…n，

进行(S110)傅里叶变换，其中，为所述测量值f_i(x_i)确定一定数量的傅里叶系数

将傅里叶系数的数量缩减(S120)到至少2维的子空间上，由此，确定测量点或(A_k,A_l,…)(214、216)，

在所述至少2维的子空间中将所述测量点或(A_k,A_l,…)(214、216)与至少一个参考点(R_k,R_l,…)、(R_k,S_l,…)或(S_k,S_l,…)(219)相比较(S130)，以及

根据与所述参考点(219)的比较获得(S140)监控结果。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括，将接收到的测量值扩展到预先定义的数量。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过以最后测得的工艺参数f_i延续，来扩展测量值。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过以测得的工艺参数f_i的平均值延续，来扩展测量值。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过使用在测量值的范围上的切线延续工艺参数，来扩展测量值。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述傅里叶系数包括相位角。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述傅里叶系数还包括在相应相位角时的振幅。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，根据待检查的缺陷选择所述至少2维的子空间。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述监控结果包括与缺陷类型的关联。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述监控结果包括识别随时间的工艺变化。

11.根据权利要求6所述的方法，所述方法此外包括：选择确定的值区间[x₁,x₂]，其中，仅仅对于满足x₁≤x_i≤x₂的测量值进行傅里叶变换。

12.根据权利要求11所述的方法，所述方法还包括，在进行傅里叶变换之前，将满足x₁≤x_i≤x₂的测量值的数量改变成预先定义的数量。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述预先定义的数量为2的幂次方。

14.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，所述方法还包括：在另一子空间中执行测量点的比较，其中，附加地根据在所述另一子空间中与参考点的比较获得监控结果。

15.一种用于数据处理的设备，其包括用于执行根据权利要求1至14中任一项所述的方法的器件。

16.一种计算机可读介质，其包括在被计算机执行时使计算机执行根据权利要求1至14中任一项所述的方法的指令。

17.一种用于在机械的接合方法中进行工艺监控的设备(2)，其包括：

用于在进行机械的接合方法时接收多个测量值f_i(x_i)的装置(20)，其中，所述测量值分别使至少两个工艺参数f_i、x_i彼此相关联，其中，i＝1…n，

用于进行傅里叶变换的装置(25)，其中，为所述测量值fi(xi)确定一定数量的傅里叶系数

用于将傅里叶系数的数量缩减到至少2维的子空间上的装置(26)，由此，获得测量点或(A_k,A_l,…)(214、216)，

用于在所述至少2维的子空间中将测量点或(A_k,A_l,…)(214、216)与至少一个参考点(R_k,R_l,…)、(R_k,S_l,…)或(S_k,S_l,…)(219)相比较的装置(27)，以及

用于根据与所述参考点(219)的比较获得监控结果的装置(28)。