[发明专利]氟气的制造方法

权利要求书

1.一种氟气的制造方法，具备氟化工序、分离工序、提纯工序、电解工序和导入工序，

所述氟化工序使氟气与原料化合物反应而进行氟化，得到含有主氟化物、副氟化物和副生氟化氢的反应混合物，所述主氟化物是由所述原料化合物氟化而生成的目标成分，所述副氟化物是由所述原料化合物氟化而附带生成的非目标成分，所述副生氟化氢在所述氟化中附带生成，

所述分离工序将所述反应混合物分离，得到主生成分和所述主生成分以外的副生成分，所述主生成分作为最多成分含有所述主氟化物，所述副生成分含有所述副生氟化氢，

所述提纯工序对所述副生成分进行提纯，得到所述副生成分含有的有机物的浓度被降低且所述副生氟化氢的浓度被提高了的回收氟化氢成分，

所述电解工序使用所述回收氟化氢成分作为电解液的至少一部分进行电解，来制造氟气，

所述导入工序为了将由所述电解工序得到的氟气作为所述氟化工序中使用的氟气的至少一部分，将由所述电解工序得到的氟气导入到所述氟化工序中的所述氟化的反应场中。

2.根据权利要求1所述的氟气的制造方法，

所述副生成分含有的所述有机物是以下物质中的至少一种：未反应的所述原料化合物、所述副氟化物、在所述氟化的反应场与所述原料化合物和所述氟气共存的溶剂、所述溶剂的氟化物、在所述氟化的反应场与所述原料化合物和所述氟气共存的稀释气体、所述稀释气体的氟化物、在进行所述氟化的反应装置中使用且能够存在于所述反应场的有机化合物、以及所述有机化合物的氟化物。

3.根据权利要求1或2所述的氟气的制造方法，

所述原料化合物是具有2个以上且18个以下碳原子并且具有1个以上氢原子的化合物。

4.根据权利要求3所述的氟气的制造方法，

所述具有2个以上且18个以下碳原子并且具有1个以上氢原子的化合物是烷烃或卤代烷烃，所述卤代烷烃是烷烃具有的部分或全部氢原子被氟以外的卤素原子取代而得到的。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的氟气的制造方法，

所述提纯工序中的所述副生成分的提纯方法是使用蒸馏操作、吸附操作和液液分离操作中的至少一种的方法。

6.根据权利要求5所述的氟气的制造方法，

所述蒸馏操作对使所述副生成分中的所述副生氟化氢被水吸收而得到的氟化氢水溶液进行蒸馏。

7.根据权利要求5所述的氟气的制造方法，

所述吸附操作使所述副生成分中的所述有机物被吸附剂吸附，所述吸附剂具有活性炭和氧化铝中的至少一者。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的氟气的制造方法，

在所述提纯工序中，以所述回收氟化氢成分中的所述有机物的合计浓度为200质量ppm以下的方式提纯所述副生成分。